Статья: ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ ИНДУКТИВНОГО ВЧ-ИСТОЧНИКА ПЛАЗМЫ ДИАМЕТРОМ 46 СМ. ЧАСТЬ III. ЭФФЕКТИВНОСТЬ ВЛОЖЕНИЯ МОЩНОСТИ (2014)

Читать онлайн

В работе представлены результаты измерения эквивалентного сопротивления плазмы, являющегося мерой способности плазмы поглощать ВЧ-мощность. Рассмотрен индуктивный ВЧ-разряд в инертных газах в диапазоне давлений 1 мТорр - 10 Торр. Показано, что при частотах упругих столкновений, не превышающих 3∙107 с-1, значения эквивалентного сопротивления различных газов в пределах ошибки эксперимента «ложатся» на одну кривую. При частотах столкновений более 3∙107 с-1 значительный вклад в поглощение вносит емкостная составляющая разряда.

The measurement results of the equivalent resistance, which is a measure of the ability to absorb RF power by plasma, are represented in this paper. The inductive RF discharge in inert gases in the range of pressure 1 mTorr - 10 Torr was examined. It is shown that the equivalent resistance values of the various gases “lay” on the same curve within the experiment error if the elastic collision frequency does not exceed 3∙107 s-1. The capacitive component of the discharge makes significant contribution if the collision frequency is greater than 3∙107 s-1.

Ключевые фразы: индуктивный, емкостной, разряд, плазма, электронная температура, концентрация
Автор (ы): Александров Андрей Фёдорович (Aleksandrov A. F.), Вавилин Константин Викторович, Кралькина Елена Александровна, Неклюдова Полина Алексеевна, Павлов Владимир Борисович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525.99. Прочие виды разрядов в газах при пониженном давлении
eLIBRARY ID
21502908
Для цитирования:
АЛЕКСАНДРОВ А. Ф., ВАВИЛИН К. В., КРАЛЬКИНА Е. А., НЕКЛЮДОВА П. А., ПАВЛОВ В. Б. ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ ИНДУКТИВНОГО ВЧ-ИСТОЧНИКА ПЛАЗМЫ ДИАМЕТРОМ 46 СМ. ЧАСТЬ III. ЭФФЕКТИВНОСТЬ ВЛОЖЕНИЯ МОЩНОСТИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2014. №2
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.