В работе представлены результаты измерения эквивалентного сопротивления плазмы, являющегося мерой способности плазмы поглощать ВЧ-мощность. Рассмотрен индуктивный ВЧ-разряд в инертных газах в диапазоне давлений 1 мТорр - 10 Торр. Показано, что при частотах упругих столкновений, не превышающих 3∙107 с-1, значения эквивалентного сопротивления различных газов в пределах ошибки эксперимента «ложатся» на одну кривую. При частотах столкновений более 3∙107 с-1 значительный вклад в поглощение вносит емкостная составляющая разряда.
The measurement results of the equivalent resistance, which is a measure of the ability to absorb RF power by plasma, are represented in this paper. The inductive RF discharge in inert gases in the range of pressure 1 mTorr - 10 Torr was examined. It is shown that the equivalent resistance values of the various gases “lay” on the same curve within the experiment error if the elastic collision frequency does not exceed 3∙107 s-1. The capacitive component of the discharge makes significant contribution if the collision frequency is greater than 3∙107 s-1.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 21502908
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.