Статья: Особенности гетероструктур InGaAs/InP, предназначенных для изготовления быстродействующих фотоприемных устройств коротковолнового диапазона ИК-спектра (2014)

Читать онлайн

Рассмотрены особенности построения гетероструктур на основе InGaAs, предназначенных для изготовления быстродействующих фотоприемных устройств коротковолнового диапазона спектра. Проведен анализ их структурного совершенства и морфологии поверхности. Анализ показал, что исследуемые структуры обладают наношероховатой поверхностью с малым количеством дефектов и структурных несовершенств. Плотность дефектов составила ~ 5 см-2, средневквадратичное значение шероховатости ~ 0,8 нм, выявлены структурные особенности роста эпитаксиальных слоев.

The main features of InGaAs/InP heterostructures intended for SWIR high-efficiency and highspeed operation applications have been studied. Structural properties and surface morphology have been analyzed by X-ray diffraction and AFM methods. The surface morphology of samples has nanoirregular character, and the root mean square (RMS) roughnesses was of 0.8 nm, the defect density was of 5 cm-2. The surface encloses the relatively narrow and pyramidal peaks correspond to the InGaAs absorption and cap layer of sample with a larger diffuse scattering perpendicular to the normal line.

Ключевые фразы: InGaAs, inp, коротковолновый инфракрасный спектральный диапазон, гетероэпитаксиальные структуры, p─i─n-фотодиод, матрица фоточувствительных элементов, фотоприемное устройство
Автор (ы): Коротаев Евгений Дмитриевич (Korotaev E. D.), Яковлева Наталья Ивановна, Мирофянченко Андрей Евгеньевич, Ляликов Алексей Владимирович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
eLIBRARY ID
22628851
Для цитирования:
КОРОТАЕВ Е. Д., ЯКОВЛЕВА Н. И., МИРОФЯНЧЕНКО А. Е., ЛЯЛИКОВ А. В. ОСОБЕННОСТИ ГЕТЕРОСТРУКТУР INGAAS/INP, ПРЕДНАЗНАЧЕННЫХ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИХ ФОТОПРИЕМНЫХ УСТРОЙСТВ КОРОТКОВОЛНОВОГО ДИАПАЗОНА ИК-СПЕКТРА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2014. №6
Текстовый фрагмент статьи