Статья: Влияние толщины фоточувствительных слоев на свойства МФПУ на основе антимонида индия (2014)

Читать онлайн

Исследовано влияние толщины фоточувствительного слоя в МФПУ на основе антимонида индия на одноточечную дефектность и чувствительность до и после утоньшения. На большом объеме матричных фотоприемников (МФП) установлено отсутствие увеличения одноточечной дефектности после утоньшения. Показана возможность изготовления МФП в области диапазона толщин 8÷12 мкм в случае улучшения контроля толщины без уменьшения процента выхода годных. В этом случае должна отсутствовать корреляция между чувствительностями до и после утоньшения, то есть исключено влияние величины объемной диффузионной длины неосновных носителей заряда на квантовый выход МФП после утоньшения, а также должны быть меньше величина разброса чувствительности после утоньшения и меньше взаимосвязь.

InSb matrix photodetectors a format 320256 of elements with pitch 30 μm, which thinning methods chemico-mechanical polishing (CMP) and chemico-dynamical polishing (CDP) after hybridization operation are investigated. Comparison of characteristics matrix photodetectors before and after thinning became the basic method of the analysis thinning operation. The technology is developed for operation improvement thinning in connection with pitch reduction wide format matrix photodetectors allowing precisely to control quality of borders on perimetre and a thickness photosensitive layer. In case reduction of a photosensitive layer thickness to 8÷12 μm there should be no a correlation between sensitivity before and after thinning, that is influence bulk diffusion length of nonbasic charge carriers on quantum efficiency matrix photodetectors after thinning, and also should be less value of sensitivity dispersion after thinning and less crosstalk.

Ключевые фразы: матричное фотоприемное устройство, антимонид индия, дефектность, чувствительность
Автор (ы): Лопухин Алексей Алексеевич (Lopuhin A. A.)
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
621.383. Фотоэлектроника
eLIBRARY ID
22628852
Для цитирования:
ЛОПУХИН А. А. ВЛИЯНИЕ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ СЛОЕВ НА СВОЙСТВА МФПУ НА ОСНОВЕ АНТИМОНИДА ИНДИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2014. №6
Текстовый фрагмент статьи