Статья: Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда низкого давления с помощью программы KARAT (2013)

Читать онлайн

В работе представлены результаты математического моделирования параметров плаз- мы индуктивного ВЧ разряда в аргоне PIC методом в диапазоне давлений 1мТор — 1Тор. Показано, что при низких давлениях в области скин-слоя азимутальное поле осциллирует на основной частоте со средним значением равным нулю, в то время как радиальное поле имеет отличную от нуля постоянную составляющую. Осцилляции азимутального электрического поля приводят к формированию пучка электронов, азимутальная скорость которого осциллирует со временем, достигая максимума дважды за период.

The mathematical simulation results of an inductive RF discharge plasma parameters in argon by PIC method in the pressure range 1 mTorr — 1 Torr are represented in this paper. It is shown that the azimuthal fi eld oscillates on the main frequency with zero average value while the radial fi eld has nonzero direct component at low pressures. The azimuthal electric fi eld oscillations lead to formation of the electron beam, its azimuthal velocity oscillates in time and reaches the maximum value twice per one period.

Ключевые фразы: индуктивный, высокочастотный, разряд, плазма, функция распределения по скоростям, сила миллера
Автор (ы): Александров Андрей Фёдорович (Aleksandrov A. F.), Вавилин Константин Викторович, Кралькина Елена Александровна, Неклюдова Полина Алексеевна, Павлов Владимир Борисович, Тараканов Владимир Павлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525.99. Прочие виды разрядов в газах при пониженном давлении
Для цитирования:
АЛЕКСАНДРОВ А. Ф., ВАВИЛИН К. В., КРАЛЬКИНА Е. А., НЕКЛЮДОВА П. А., ПАВЛОВ В. Б., ТАРАКАНОВ В. П. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНДУКТИВНОГО ВЧ-РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОМОЩЬЮ ПРОГРАММЫ KARAT // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2013. №5
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.