Исследованы характеристики матричных фотоприемных устройств формата 320×256 элементов с шагом 30 мкм на основе InGaAs, чувствительных в спектральном диапазоне 0,9─1,7 мкм. Матрицы фоточувствительных элементов (МФЧЭ) изготавливались по планарной и мезатехнологии. Измерены распределения темнового тока и спектральные характеристики фоточувствительности МФЧЭ при комнатной температуре и температуре охлаждения минус 20 °C. Получены тепловизионные изображения в режиме реального времени
SWIR 320х256 FPAs based on p-i-n photodiodes in InGaAs heterostructures have been developed and investigated. The 1.7 μm InGaAs 2D arrays with 30 μm pitches were made by planar and mesa-technology from the lattice matched In0.53Ga0.47As/InP epi-wafers grown by MOCVD, sensitive to the wavelength range of 0.9–1.7μm. Low-dark current material systems were ideal for high sensitivity and low noise applications. Dark-current distributions were measured both at room and –20 °C operation temperatures. IR- images were taken to demonstrate the operability of developed FPA
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
Архитектура матриц p─i─n-фотодиодов на основе тройных соединений арсенидов InGaAs/InP позволяет реализовывать фотоприемные устройства с параметрами, близкими к лучшим мировым. Для крупноформатных матриц с размером пикселя порядка 15─30 мкм необходимы как высококачественные полупроводниковые структуры, так и усовершенствования в технологии изготовления. Для уменьшения темнового тока применяется метод снижения обратного смещения к нулевым значениям, оптимизация толщины поглощающего слоя InGaAs, уменьшение рабочей температуры с помощью одно- или двухстадийного термоэлектрического охлаждения, что позволило получить основные параметры ФПУ, а именно, обнаружительную способность и вольтовую чувствительность на уровне лучших мировых аналогов.
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.
Список литературы
1. Forrest S.R., Leheny R.F., Nahory R.E., and Pollack M.A. // Applied Physics Letters. 1980. V. 37. P. 322
2. Stillman G.E., Cook L.W., Tabatabaie N. et al. // IEEE Transactions Electron Devices. 1983. V. ED-30. P. 364
3. Olsen G.H., Joshi A.M., Mason S.M., et al. // Proc. SPIE. 1989. V. 1157. P. 276
4. Olsen G., Joshi A., Lange M., et al. // Proc. SPIE. 1990. V. 1341. P. 432–37
5. Joshi A.M., Ban V.S., Mason S., et al. // Proc. SPIE. 1992. V. 1735. P. 287
6. Marlon D. Enriquez, Michael A. et al. // Proc. SPIE. 2008. V. 6940. P. 69400O
7. Chin A.K., Chen F.S., and Ermanis F. // J. Appl. Phys. 1984. V. 55. P. 1596
8. Saul R.H. and Chen F.S. // IEEE Electron Device Lett. 1983. V. ELD-4. P. 467
9. Littleton R., Dang K., Maloney P., et al. Spectral Irradiance of the Night Sky for Passive Low Light Level Imaging Applications / Proceedings of MSS. 2005. Passive Sensors., Charleston SC, 2005.
10. Tara J. Martin, Marshall J. Cohen, J. C. Dries, and Michael J. Lange // Proc. SPIE. 2004. V. 5406. P. 38
11. Martin T., Brubaker R., Dixon P. et al. // Proc. SPIE. 2005. V. 5783. P. 12
12. Pearsall T.P. and Papuchon M.// Applied Physics Letters. 1978. V. 33. P. 640
13. Forrest S.R., Smith R.G., and Kim O.K.// IEEE Journal of Quantum Electronics. 1980. V. QE-18, P. 2040
14. Boisvert J., Isshiki T, Sudharsanan R. et al. // Proc. SPIE. 2008. V. 6940. P. 69400L.
15. Чинарева И.В., Огнева О.В., Забенькин О.Н., Мищенкова Т.Н. Способ изготовления быстродействующего многоэлементного фотоприемника на основе эпитаксиальных структур InGaAs/InP, патент № 2 318 272 С1, дата опубликования 27.02.2008 г.
16. Gyuro I. MOVPE for InP-based Optoelectronic Device Application / Compound Semiconductor Industry Directory, Elsevier Science Ltd., 1996.
17. Stringfellow G.B. Organometallic Vapor-Phase Epitaxy: Theory and Practice (2nd Edition). Academic Press, New York, 1999.
Выпуск
Другие статьи выпуска
Для одновременной фокусировки приосевых и удаленных от оси пучков заряженных частиц предложена и теоретически исследована электростатическая линза, состоящая из набора коаксиальных цилиндрических электродов. Численно рассчитаны параметры такой комбинированной линзы. Выигрыш в интенсивности пучка по сравнению с широко используемой одиночной осесимметричной линзой возрастает в несколько раз.
Приведены результаты разработки ультрафиолетового объектива, построенного на основе двух склеенных компонентов. Объектив обладает достаточно высоким качеством изображения и предназначен для использования в оптико-электронных приборах, построенных на основе матричных фотоприемников формата 320×256 с шагом 30 мкм. В статье также приведены результаты измерения пятна рассеяния объектива.
Приведено описание введенного в эксплуатацию экспериментального комплекса HVEE- 500 НИИЯФ МГУ, позволяющего исследовать поверхности и тонкие пленки с разрешением по глубине вплоть до 1─2 монослоев. В комплексе предусмотрена возможность проведения in situ экспериментов по взаимодействию ионных пучков с покрытиями и исследования их с применением ионно-пучковых методик. Имплантация ионов от 1 до 250 атомной единицы массы проводится в мишени с размерами до 150х150 мм с однородностью дозы по этой площади не хуже 99%.
В статье рассматривается принцип работы и конструкция диффузионного источника ионов натрия на базе разрядной трубки натриевой лампы высокого давления типа Днат- 400. Созданный источник ионов натрия может найти применение в технике физического эксперимента, в разборных конструкциях электровакуумных приборов. Он прост по конструкции, экономичен и допускает развакуумирование вакуумной системы.
Представлены результаты определения химического состава плазменных струй тлеющего разряда атмосферного давления на постоянном токе в различных газовых смесях методами эмиссионной и абсорбционной спектроскопии и их инактивационного воздействия на поверхность агаризованной питательной среды, контаминированной бактериями Staphylococcus aureus.
В рассматриваемой работе приводятся результаты экспериментальных исследований формирования и развития ударных волн как при наличии внешнего продольного магнитного поля, так и без него, а также результаты влияния продольного магнитного поля на стадию сверхзвукового расширения искрового канала в аргоне атмосферного давления в коротких межэлектродных промежутках. Показано, что наложение магнитного поля приводит к заметному уменьшению скорости расширения плазменной области.
С использованием секционированного анода в геометрии острие-плоскость исследован радиальный профиль плотности тока отрицательной короны в аргоне. Экспериментально обнаружено сужение радиального распределения тока по аноду и уменьшение светового диаметра у анода с ростом тока короны. Получена параболическая аппроксимация для вольтамперной характеристики отрицательной короны в аргоне, с учетом экспериментально обнаруженного сужения токового сечения на аноде с ростом тока короны.
В работе представлены результаты математического моделирования параметров плаз- мы индуктивного ВЧ разряда в аргоне PIC методом в диапазоне давлений 1мТор — 1Тор. Показано, что при низких давлениях в области скин-слоя азимутальное поле осциллирует на основной частоте со средним значением равным нулю, в то время как радиальное поле имеет отличную от нуля постоянную составляющую. Осцилляции азимутального электрического поля приводят к формированию пучка электронов, азимутальная скорость которого осциллирует со временем, достигая максимума дважды за период.
В работе представлены результаты экспериментального исследования эффективной температуры и концентрации электронов в области скин-слоя индуктивного ВЧ-разряда в инертных газах. Диапазон рассмотренных давлений 0.3─1000 мТорр. Результаты измерений проявили немонотонную зависимость параметров плазмы от давления. Показано, что при давлениях, соответствующих минимуму электронной температуры, частота упругих столкновений в аргоне и криптоне ниже, чем в гелии, вследствие эффекта Рамзауэра.
В настоящее время растёт интерес к протонным проводникам и полупроводникам, поскольку самым безопасным и легко управляемым способом транспорта водорода является протонный перенос в твердотельных протонных проводниках. Достаточно полно исследован протонный транспорт в твёрдых электролитах, но диапазон исследованных кристаллических диэлектриков небольшой. Особенно актуальным представляется разработка способов получения и диагностики протонных проводников и полупроводников с заданными свойствами.
При помощи подходов, характерных для математического моделирования, рассматриваются некоторые проявления экситонных поляритонов, образующихся в результате взаимо действия световой волны с микрорезонатором, содержащим квантовые ямы в AlGaN микрополости. Методом матриц переноса получены электрическое поле световой волны в микрорезонаторе и угловая дисперсия поляритонных веток.
Представлена и численно исследована модель релаксации фотопроводимости пористого кремния, в которой учитывается рекомбинация фотоносителей на поверхности цилиндрических пор при синусоидально модулированном потоке света. Методом конечных элементов рассчитана частотная зависимость фотопроводимости пористого кремния и зависимость частоты модуляции света, при которой переменная составляющая фотопроводимости уменьшается вдвое при увеличении скорости поверхностной рекомбинации, а также при изменении радиуса пор и среднего расстояния между ними.
Представлены результаты исследования морфологии поверхности эпитаксиальных пленок Pb1-xSnxSe (x = 0,07), полученные различными методами термического напыления (метод конденсации молекулярных пучков и горячей стенки), в корреляции с электрофизическими свойствами и проведено сравнение с другими АIVBVI. Установлено, что образование черных скоплений на поверхности эпитаксиальных пленок характерно для халькогенидов АIVBVI и морфология поверхности сильно влияет на электрофизические свойства.
В работе представлено описание теоретической модели расчёта спектров фотолюминесценции структур на основе CdxHg1-xTe (КРТ), выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) и содержащих потенциальные и квантовые ямы (КЯ). В основу модели положен расчёт зонной диаграммы посредством самосогласованного решения уравнений Пуассона и Шрёдингера. Особенностью представленной модели является, в частности, то, что при расчётах была учтена зависимость электронного сродства от состава КРТ.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400