Статья: Исследование гетероэпитаксиальных структур CdHgTe методом спектроскопической эллипсометрии (2014)

Читать онлайн

Исследуются возможности метода спектроскопической эллипсометрии как бесконтактного метода изучения важнейших параметров полупроводниковых гетероструктур с наноразмерными слоями. Методом неразрушающей спектроскопической эллипсометрии определен состав, толщина, коэффициент преломления рабочих и вспомогательных слоев гетероэпитаксиальной структуры КРТ, выращенной методом молекулярно-лучевой эпитаксии.

This paper concerns reflection spectroscopic ellipsometry. Using these techniques involves no physical contact with the surface of heteroepitaxial structure and does not normally destruct the surface. This is a notable property of a measurement technique on nanoscale. The thickness, composition and the refractive index of the working epitaxial layers of the ternary compound semiconductor structures mercury-cadmium-telluride (MCT) are investigated by spectroscopic ellipsometry.

Ключевые фразы: CdHgTe, КРТ, гетероэпитаксиальные структуры, ГЭС, фотоприемное устройство, ФПУ, молекулярно-лучевая эпитаксия, МЛЭ, эллипсометрия
Автор (ы): Скребнева Полина Станиславовна, Бурлаков Игорь Дмитриевич, Яковлева Наталья Ивановна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
eLIBRARY ID
22508111
Для цитирования:
СКРЕБНЕВА П. С., БУРЛАКОВ И. Д., ЯКОВЛЕВА Н. И. ИССЛЕДОВАНИЕ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР CDHGTE МЕТОДОМ СПЕКТРОСКОПИЧЕСКОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2014. №5
Текстовый фрагмент статьи