Статья: Исследование поверхности эпитаксиальных гетероструктур CdхHg1-хТе после полирующего травления (2014)

Читать онлайн

В работе приведены результаты исследований гетероструктур теллурида кадмияртути ориентации [310] после полирующего травления. Измерения электрофизических характеристик и визуальный контроль методом атомно-силовой микроскопии показали, что травление ГЭС КРТ в системе Н2О2-НВr-этиленгликоль с добавлением метанола улучшает структуру поверхности CdHgTe по сравнению с травлением в данной системе без метанола. При этом значения концентрации поверхностных электронов, рассчитанные по зависимости коэффициента Холла от величины магнитного поля, уменьшаются на порядок, шероховатость поверхности снижается не менее чем в три раза.

In this work, results of research of CdхHg1-хTe surface of oriented (310) epitaxial heterostructures after polish etching is considered. The research by atomic force microscopy of CdхHg1-хTe surface have been indicate that etching of bromic solution with methanol reduces roughness on surface three times the size as compared with etching of bromic solution not methanol. The investigation by atomic force microscopy of CdхHg1-хTe oriented (310) epitaxial heterostructures have been indicate that etching the surface of bromic solution with methanol reduces roughness of the surface and leakage surface currents.

Ключевые фразы: эпитаксиальные структуры, гэс крт, атомно-силовая микроскопия, электрофизические параметры, шероховатости поверхности cdhgte, метанол сh3oh
Автор (ы): Кашуба Алексей Сергеевич, Пермикина Елена Вячеславовна, Головин Сергей Вадимович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
eLIBRARY ID
22508112
Для цитирования:
КАШУБА А. С., ПЕРМИКИНА Е. В., ГОЛОВИН С. В. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР CDХHG1-ХТЕ ПОСЛЕ ПОЛИРУЮЩЕГО ТРАВЛЕНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2014. №5
Текстовый фрагмент статьи