Исследование состава и динамики плотности пылевых частиц, образованных при распылении мишени из Ba(0,8)Sr(0,2)TiO3 в кислородном высокочастотном разряде (2014)
Выпуск:
№5 (2014)
Исследованы наночастицы, образовавшиеся в плазме емкостного высокочастотного разряда при распылении керамической мишени титаната бария-стронция в среде кислорода. В полученных спектрах комбинационного рассеяния наблюдаются как линии исходного сложного оксида, так и линии простых оксидов. Приведены временные зависимости концентрации пыли в потенциальной ловушке, проанализирована динамика изменений. Сделанные оценки скорости движения пылевых частиц в разрядной камере согласуются с экспериментальными результатами.