Статья: Исследование состава и динамики плотности пылевых частиц, образованных при распылении мишени из Ba(0,8)Sr(0,2)TiO3 в кислородном высокочастотном разряде (2014)

Читать онлайн

Исследованы наночастицы, образовавшиеся в плазме емкостного высокочастотного разряда при распылении керамической мишени титаната бария-стронция в среде кислорода. В полученных спектрах комбинационного рассеяния наблюдаются как линии исходного сложного оксида, так и линии простых оксидов. Приведены временные зависимости концентрации пыли в потенциальной ловушке, проанализирована динамика изменений. Сделанные оценки скорости движения пылевых частиц в разрядной камере согласуются с экспериментальными результатами.

Nanoparticles, forming in capacitive rf discharge plasma under barium-strontium titanate ceramic target sputtering in oxygen ambient, was investigated. Both initial complex oxide lines and simple oxides lines were observed in recovered Raman spectra. Dust concentrations time dependences in potential trap are presented, variation dynamics is analyzed. Dust particles moving velocity in discharge chamber performed evaluates are according in experimental results.

Ключевые фразы: емкостной высокочастотный разряд, сложный оксид, наночастицы, пылевая плазма, ДВИЖЕНИЕ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ
Автор (ы): Пляка Павел Стефанович, Толмачев Геннадий Николаевич, Алихаджиев Сайдмагомед Хаважиевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9.082.5. Использование оптических методов (включая спектроскопические методы и использование лазеров)
538.958. Оптические свойства и спектры
eLIBRARY ID
22508102
Для цитирования:
ПЛЯКА П. С., ТОЛМАЧЕВ Г. Н., АЛИХАДЖИЕВ С. Х. ИССЛЕДОВАНИЕ СОСТАВА И ДИНАМИКИ ПЛОТНОСТИ ПЫЛЕВЫХ ЧАСТИЦ, ОБРАЗОВАННЫХ ПРИ РАСПЫЛЕНИИ МИШЕНИ ИЗ BA(0,8)SR(0,2)TIO3 В КИСЛОРОДНОМ ВЫСОКОЧАСТОТНОМ РАЗРЯДЕ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2014. №5
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)