Статья: Изучение поведения температуры электронов аргоновой плазмы импульсно-периодического микроволнового резонансного разряда (2015)

Читать онлайн

В работе представлена конструкция и результаты испытания импульсно-периодического резонансного плазменного источника с рабочей частотой 2,45 ГГц на основе магнитной ловушки пробочного типа с постоянными магнитами. Исследовались изменения параметров разряда и температуры электронов аргоновой плазмы в широком диапазоне изменения давления рабочего газа от 1·10-4 до 4·10-3 Торр и падающей мощности СВЧ до 600 Вт. Температура электронов в разряде определялась методом относительных интенсивностей (ЭОС) и двойным зондом в указанном диапазоне изменений падающей мощности и давления. Полученные методом ЭОС зависимости в пределах экспериментальных погрешностей находятся в хорошем количественном и качественном согласии с результатами, полученными методом двойного зонда.

A permanent-magnet, pulse-periodic 2.45 GHz ECR plasma source has been constructed and tested in the range of 110-4—410-3 Torr argon with net pulsed microwave input power up to 600 W. Optical emission spectroscopy (EOS), photometry and probes for different purposes were used to investigate trends of plasma parameters changes within processing parameters. The electron temperature has been measured by using a Langmuir probe and relative intensities of the emission over a wide range of pressure and for various levels of the h. f. power applied to the discharge. The obtained EOS results agree to temperatures measured directly by the double probe within the limits of the experimental errors.

Ключевые фразы: ЭЦР-разряд, оптическая эмиссионная спектроскопия, зондовые измерения, двойной зонд
Автор (ы): Андреев Виктор Викторович, Василеска Ивона, Корнеева Мария Анатольевна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9. Физика плазмы
eLIBRARY ID
23330601
Для цитирования:
АНДРЕЕВ В. В., ВАСИЛЕСКА И., КОРНЕЕВА М. А. ИЗУЧЕНИЕ ПОВЕДЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ЭЛЕКТРОНОВ АРГОНОВОЙ ПЛАЗМЫ ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОГО МИКРОВОЛНОВОГО РЕЗОНАНСНОГО РАЗРЯДА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2015. №2
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)