Статья: Отдельные элементы физико-математической модели геликонного разряда (2015)

Читать онлайн

Построена приближенная математическая модель физических процессов в геликонном разряде. Эта модель позволяет найти математические связи между вкладываемой мощностью, параметрами плазмы и электромагнитными полями, возбуждаемыми в цилиндрически симметричном геликоном разряде. На группе экспериментальных и расчетных данных произведена первоначальная верификация отдельных результатов численных расчетов, выполненных с использованием разработанной приближенной математической модели.

An approximate mathematical model of the physical processes in helicon discharges is developed. This model solves the problem of finding a self-consistent mathematical relationship between the injected power, the plasma parameters and electromagnetic fields excited in cylindrically symmetric RF plasma source. Initial verification of the results of numerical simulations is performed using the developed approximate mathematical model and set of experimental and calculated data. This work was partially supported by the Ministry of Education and Science of the Russian Federation, Project No. 13.79.2014/K.

Ключевые фразы: вч-разряд низкого давления, геликонный разряд, математическая модель, ИОНИЗАЦИЯ, неоднородные электрические и магнитные поля
Автор (ы): Кузенов Виктор Витальевич, Рыжков Сергей Витальевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9. Физика плазмы
eLIBRARY ID
23330592
Для цитирования:
КУЗЕНОВ В. В., РЫЖКОВ С. В. ОТДЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ ГЕЛИКОННОГО РАЗРЯДА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2015. №2
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)