Статья: Энергетическая и газовая эффективности формирования ЭЦР-плазмы в коаксиальном резонаторе со спиральной волноводной структурой (2015)

Читать онлайн

Представлены результаты экспериментального исследования параметров ЭЦР-плазмы, формируемой в коаксиальном резонаторе со спиральной волноводной структурой. Определены зависимости газовой и энергетической эффективности формирования ионного потока от массового расхода рабочего газа (Ar) и СВЧ-мощности (2,45 ГГц), вводимой в резонатор.

Experimental results on the parameters of the ECR plasma formed in a coaxial resonator with a helical waveguide structure are presented. The dependences of the gas and energy efficiency of formation of ion flow on the mass flow rate of the working gas (Ar) and microwave power (2.45 GHz) introduced into the cavity are obtained.

Ключевые фразы: плазма, электронный циклотронный резонанс, эцр, коаксиальный резонатор, газовая эффективность, ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ
Автор (ы): Балмашнов Александр Александрович, Бутко Наталия Борисовна, Калашников Андрей Владимирович, Калашников Владимир Владимирович, Степина Светлана Петровна, Умнов Анатолий Михайлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы
eLIBRARY ID
23330594
Для цитирования:
БАЛМАШНОВ А. А., БУТКО Н. Б., КАЛАШНИКОВ А. В., КАЛАШНИКОВ В. В., СТЕПИНА С. П., УМНОВ А. М. ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ И ГАЗОВАЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ЭЦР-ПЛАЗМЫ В КОАКСИАЛЬНОМ РЕЗОНАТОРЕ СО СПИРАЛЬНОЙ ВОЛНОВОДНОЙ СТРУКТУРОЙ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2015. №2
Текстовый фрагмент статьи