Статья: Исследование структурных дефектов кристаллов 4H-SiC методом рентгеновской микротомографии (2016)

Читать онлайн

Методом рентгеновской микротомографии исследована дефектная структура кристаллов 4H-SiC, полученных PVT-способом. Определены линейные характеристики поровых дефектов. Установлено, что поверхности микропор имеют фрактальный характер со значениями фрактальной размерности 2,20—2,60. Методом рентгеновской микротомографии в исследуемых кристаллах выявлены макродефекты, имеющие форму «сплющенных» микротрубок с поперечным сечением, близким к эллиптическому.

We investigated by the X-ray microtomography a defect structure of the 4H-SiC crystals obtained PVT method. We have identified the linear characteristics of pore defects. It was found that the surface of the micropores have a fractal nature with values of the fractal dimension of 2.20—2.60. The X-ray microtomography allowed to identify in crystals the existence of so-called “oblate” micropores with crosssectional shape similar to elliptical.

Ключевые фразы: карбид кремния, структурные неоднородности, фрактальная размерность
Автор (ы): Нищев Константин Николаевич, Мамин Бари Фяттяхович, Неверов Вячеслав Александрович, Сидоров Роман Игоревич, Скворцов Денис Александрович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
538.971. Физика поверхностей и границ раздела (включая эмиссию и столкновение)
eLIBRARY ID
27634009
Для цитирования:
НИЩЕВ К. Н., МАМИН Б. Ф., НЕВЕРОВ В. А., СИДОРОВ Р. И., СКВОРЦОВ Д. А. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНЫХ ДЕФЕКТОВ КРИСТАЛЛОВ 4H-SIC МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ МИКРОТОМОГРАФИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №6
Текстовый фрагмент статьи