Статья: Строение оксидных пленок, полученных отжигом пленок алюминия на (0001) сапфировых подложках (2016)

Читать онлайн

Методами электронографии, электронной и зондовой микроскопии изучено строение пленок, полученных отжигом на воздухе и в азоте предварительно нанесенных слоев металлического алюминия на (0001) поверхность сапфировых пластин. Совершенство получаемых пленок Al2O3 повышается с повышением температуры отжига на воздухе до 1400 °С, со снижением скорости нагрева до 50 °С час-1, а также при наличии на поверхности пленки микрорельефа. При отжиге в азоте получены многослойные, неоднородные по составу пленки оксидов алюминия.

Structure of oxide films obtained by annealing the metal aluminum layers on the (0001) sapphire crystal surface in air or nitrogen was investigated by the methods of electron diffraction, atomic force and electron microscopy. Increasing the annealing temperature in air up to 1400 °C, decreasing the sample heating rate down to 50 °C/ h, and the presence of microrelief on the film surface result in the improved crystallinity of obtained Al2O3 films. Multilayer and heterogeneous in composition alumina films were obtained at annealing in nitrogen.

Ключевые фразы: сапфир, СКАНИРУЮЩАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ, слои, оксидные пленки
Автор (ы): Буташин Андрей Викторович, Муслимов Арсен Эмирбегович, Васильев Александр Леонидович, Григорьев Юрий Васильевич, Каневский Владимир Михайлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.016. Оптические явления, зависящие от свойств поверхностей раздела
539.231. механическим путем, например напылением
eLIBRARY ID
27634006
Для цитирования:
БУТАШИН А. В., МУСЛИМОВ А. Э., ВАСИЛЬЕВ А. Л., ГРИГОРЬЕВ Ю. В., КАНЕВСКИЙ В. М. СТРОЕНИЕ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ ОТЖИГОМ ПЛЕНОК АЛЮМИНИЯ НА (0001) САПФИРОВЫХ ПОДЛОЖКАХ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №6
Текстовый фрагмент статьи