Статья: Использование тонких пленок SiO2 для формирования охранного кольца в лавинных фотодиодах на основе InGaAs/InP (2016)

Читать онлайн

Для предотвращения раннего краевого пробоя в планарных лавинных фотодиодах на основе InGaAs/InP часто используют структуру p–n-перехода с заглубленной центральной областью и мелкой периферией. В статье говорится о p–n-переходе с разными глубинами залегания, полученного одностадийной диффузией. Такой переход получается при прохождении примеси через плёнку SiO2 определённой толщины. Приведены результаты экспериментов, проведённых на образцах с плёнками SiO2, выращенных разными методами. Результаты исследований показали, что образцы с плёнкой SiO2, выращенной пиролитическим методом при T = 250 К, имеют лучше характеристики по сравнению с остальными. Уменьшая температуру пиролитического осаждения SiO2, можно улучшить C-V характеристики.

Consideration is given to the p–n junction with different depths of occurrence, obtained by one-step diffusion. This transition is obtained by passing the admixture through a film of SiO2 with a certain thickness. Experiments have been fulfilled on samples with SiO2 films grown by different methods. The results showed that the samples with the SiO2 film grown by the pyrolytic method at T = 250 have better characteristics compared to the rest. The C-V characteristics can be improved by reducing the temperature of pyrolytic deposition of SiO2.

Ключевые фразы: sio2, охранное кольцо, p–n-переход, диффузия, пиролиз, ingaasinp, лавинный фотодиод
Автор (ы): Будтолаев Андрей Константинович, Хакуашев Павел Евгеньевич, Чинарева Инна Викторовна, Косухина Лариса Альбертовна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
621.383. Фотоэлектроника
eLIBRARY ID
27634004
Для цитирования:
БУДТОЛАЕВ А. К., ХАКУАШЕВ П. Е., ЧИНАРЕВА И. В., КОСУХИНА Л. А. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК SIO2 ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ОХРАННОГО КОЛЬЦА В ЛАВИННЫХ ФОТОДИОДАХ НА ОСНОВЕ INGAAS/INP // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №6
Текстовый фрагмент статьи