Статья: Исследование свойств нераспыляемых геттеров на базе титан-тантала (2017)

Читать онлайн

В условиях низкой молекулярной проводимости вакуумных камер ряда электрофизических установок и интенсивной десорбции молекул газа с их стенок под действием фотонностимулированной десорбции для достижения динамического давления на уровне 10-9 Торр необходима дополнительная система распределенной откачки. В настоящее время для этого используют нераспыляемые геттерные покрытия, нанесенные на внутреннюю стенку вакуумной камеры. Наилучшими параметрами обладает геттерное покрытие Ti-Zr-V, которое запатентовано в CERN и которое хорошо себя зарекомендовало во многих ускорительных комплексах, например, таких как LHC, BEPC-II, MAX-IV, KEK. Это покрытие может быть активировано при температуре 180 ºС в течение 24 часов и при этом иметь хорошую повторяемость в газопоглощающих характеристиках. В данной статье даны результаты активационных и газопоглощающих свойств для различных геттеров на базе титан-тантала, напыленных на внутреннюю стенку вакуумной камеры круглого сечения диаметром 100 мм и изготовленную из нержавеющей стали марки 316 L. Одновременно приводится сравнение с геттером Ti-Zr-V по этим характеристикам. Определение химического состава покрытия геттера проводилось на станции «РФА-СИ» на ВЭПП-3 в ИЯФ СО РАН на образцах, установленных во время напыления на торце камеры.

Under conditions of low molecular conductivity of vacuum chambers and intensive desorption of gas molecules from the walls under the influence of photon-stimulated desorption, a distributed pumping system is necessary to achieve a dynamic pressure of 10-9 Torr. At present, the non-evaporable getter coatings deposited to the inner wall of the vacuum chamber are used. The best properties have been obtained for the getter Ti-Zr-V coating, which has been patented by CERN and which has been proven itself in many accelerator complexes, such as LHC, ESRF, MAX-IV, KEK. This coating can be activated at a temperature of 180 °C for 24 hours and, at the same time, have good repeatability in gas-adsorbing characteristics. In this article, the results of activation and gas-adsorbing properties for various getters on the base of titanium-tantalum films deposited on the inner wall of a vacuum chamber of circular cross section with a diameter of 100 mm and made of 316 L stainless steel are given. These getters are also compared with the Ti-Zr-V getter. Determination of the getter coating chemical composition was carried out at the X-ray fluorescence elemental analysis station “SR-XRF” on the storage ring VEPP-3 in the Institute of Nuclear Physics of the SB RAS on samples that were installed during the deposition at the end of the chamber.

Ключевые фразы: вакуумная откачка, нераспыляемый геттер, покрытие, активация, тантал, титан
Автор (ы): Краснов Александр Анатольевич, Семенов Алексей Михайлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533. Механика газов. Аэродинамика. Физика плазмы
eLIBRARY ID
29933713
Для цитирования:
КРАСНОВ А. А., СЕМЕНОВ А. М. ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ НЕРАСПЫЛЯЕМЫХ ГЕТТЕРОВ НА БАЗЕ ТИТАН-ТАНТАЛА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №4
Текстовый фрагмент статьи