Статья: Микроструктура и фазовый состав (Zr, N)-конденсата, полученного вблизи эмитирующего катода (2017)

Читать онлайн

Методами растровой электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии исследована микроструктура и фазовый состав (Zr, N)-конденсата, осажденного вблизи циркониевого катода. Обнаружено присутствие макрочастиц как результат конденсации капельной фракции ионно-плазменного потока. Их число увеличивается в направлении распространения плазменного потока. Форма частиц изменяется от сферы до диска с периферическим кольцевым валиком. Рентгенографические исследования показали присутствие кристаллографических фаз α-циркония и нитрида циркония. Их преимущественная ориентация роста определяется давлением реакционного газа и местом конденсации в вакуумной камере. Предложены возможные механизмы формирования микроструктуры и фазового состава.

The microstructure and phase composition of the (Zr, N)-condensate deposited near the cathode was studied by scanning electron microscopy and X-ray diffractometry. The presence of macroparticles - the result of the condensation of the droplet fraction of the ion-plasma flow – was detected. Their number increases in the direction of propagation of the plasma stream. The shape of the particles varies from sphere to disk with a peripheral annular roller. X-ray studies have shown the presence of crystallographic phases of α-zirconium and zirconium nitride. Their preferential orientation of growth is determined by the pressure of the reaction gas and the condensation site in the vacuum chamber. Possible mechanisms for the formation of a microstructure and phase composition are proposed.

Ключевые фразы: НИТРИД ЦИРКОНИЯ, электронная микроскопия, ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, микроструктура, макрочастицы, метод конденсации с ионной бомбардировкой
Автор (ы): Панькин Николай Александрович, Смоланов Николай Александрович, Мишкин Владимир Петрович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9. Физика плазмы
621.793. Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них
eLIBRARY ID
29933708
Для цитирования:
ПАНЬКИН Н. А., СМОЛАНОВ Н. А., МИШКИН В. П. МИКРОСТРУКТУРА И ФАЗОВЫЙ СОСТАВ (ZR, N)-КОНДЕНСАТА, ПОЛУЧЕННОГО ВБЛИЗИ ЭМИТИРУЮЩЕГО КАТОДА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2017. №4
Текстовый фрагмент статьи