Приводится методика и программное обеспечение для расчета аберраций, обусловленных неточностью изготовления и юстировки полюсных наконечников магнитных электронных линз. Оценивается влияние эллиптичности каналов и относительного сдвига осей каналов на коэффициенты аберраций и радиусы кружков рассеяния
The methods and program product for the calculation of magnetic electron lens aberration, caused by the unprecision of fabrication and alignment of pole pieces are presented. The influence of channel ellipticity and the relative shift of channel in pole pieces on aberration coefficients and radiuses of aberration circle of dispersion are estimated
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.