Статья: Влияние внешней цепи на параметры ионного потока, получаемого при помощи емкостного ВЧ-разряда в радиальном магнитном поле (2016)

Читать онлайн

Рассмотрена зависимость характеристик емкостного ВЧ-разряда в геометрии источника плазмы с замкнутым дрейфом электронов от способности внешней электрической цепи пропускать постоянный ток. Приведены энергетические распределения получаемых посредством подобного разряда ионных потоков для случаев замкнутых и разомкнутых по постоянному току электрических цепей, к которым подключён разряд.

Dependence of capacitive RF discharge parameters on driving circuit’s ability to pass direct current has been investigated. Energy distributions of ion beams created by this discharge in cases of external circuit being open and closed for direct current are presented.

Ключевые фразы: емкостный вч-разряд, радиальное магнитное поле, холловский ускоритель
Автор (ы): Задириев Илья Игоревич, Рухадзе Анри Амвросьевич, Кралькина Елена Александровна, Павлов Владимир Борисович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы
537.525. Электрические разряды в газах при пониженном давлении. Тлеющие разряды
537.534.2. Источники положительных ионов
eLIBRARY ID
26694797
Для цитирования:
ЗАДИРИЕВ И. И., РУХАДЗЕ А. А., КРАЛЬКИНА Е. А., ПАВЛОВ В. Б. ВЛИЯНИЕ ВНЕШНЕЙ ЦЕПИ НА ПАРАМЕТРЫ ИОННОГО ПОТОКА, ПОЛУЧАЕМОГО ПРИ ПОМОЩИ ЕМКОСТНОГО ВЧ-РАЗРЯДА В РАДИАЛЬНОМ МАГНИТНОМ ПОЛЕ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №4
Текстовый фрагмент статьи