Архив статей

Исследование сопротивления микроконтактов гибридной сборки матричных ФЧЭ и схем считывания (2016)
Выпуск: №4 (2016)
Авторы: Седнев Михаил Васильевич, Кочегаров Алексей Алексеевич, Макарова Элина Алексеевна

Изготовлены макеты контактной системы БИС считывания формата 320256 с шагом 30 мкм на кремниевой пластине. Выполнено напыление слоев хрома, никеля и индия с последующим ионным травлением этих слоев через маску фоторезиста для формирования микроконтактов. Приведены результаты измерения сопротивлений соответствующих индиевых микроконтактов при комнатной температуре и при температуре жидкого азота.

Сохранить в закладках