Статья: Исследование сопротивления микроконтактов гибридной сборки матричных ФЧЭ и схем считывания (2016)

Читать онлайн

Изготовлены макеты контактной системы БИС считывания формата 320256 с шагом 30 мкм на кремниевой пластине. Выполнено напыление слоев хрома, никеля и индия с последующим ионным травлением этих слоев через маску фоторезиста для формирования микроконтактов. Приведены результаты измерения сопротивлений соответствующих индиевых микроконтактов при комнатной температуре и при температуре жидкого азота.

The model of a LSI contact system of format of 320256 elements with 30-micron pitch on silicon wafer is made. Deposition of chromium, nickel and indium layers with subsequent ion etching of these layers, performed through the photoresist mask to form microcontacts, is carried out. The measurements of impedances of indium microcontacts at room and liquid nitrogen temperatures are performed.

Ключевые фразы: индиевые микроконтакты, гибридизация, стыковка, метод перевернутого монтажа, сопротивление микроконтактов
Автор (ы): Седнев Михаил Васильевич, Кочегаров Алексей Алексеевич, Макарова Элина Алексеевна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.59. Проводники с особо высоким сопротивлением. Полупроводники
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
eLIBRARY ID
26694805
Для цитирования:
СЕДНЕВ М. В., КОЧЕГАРОВ А. А., МАКАРОВА Э. А. ИССЛЕДОВАНИЕ СОПРОТИВЛЕНИЯ МИКРОКОНТАКТОВ ГИБРИДНОЙ СБОРКИ МАТРИЧНЫХ ФЧЭ И СХЕМ СЧИТЫВАНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №4
Текстовый фрагмент статьи