Статья: Микроболометрический детектор, чувствительный в двух спектральных диапазонах (2016)

Читать онлайн

В работе представлены результаты разработки и реализации нового конструктивного варианта пикселя микроболометра, основным отличием от аналогичных известных конструкций которого является использование тонких пленок тантала в качестве поглощающего материала. Использование предлагаемых материалов и толщин слоев, составляющих пиксель, позволяет увеличить и достичь 98 % поглощения ИК-излучения при неоднородности 2,5 % в спектральном диапазоне 8—14 мкм, а также уравнять коэффициенты и достичь равномерности поглощения в спектральном диапазоне 3—5 мкм и 8—14 мкм, повысить быстродействие и чувствительность. Снижение толщины слоев приводит к увеличению температуры пикселя в 3 раза с соответственным увеличением чувствительности болометра, но при сохранении его динамических характеристик.

The performance of microbolometers could be improved by configuration of pixels with high values of IR absorption and absorption uniformity in the 3—5 and 8—14 μm spectral band and decreased thermal capacity, resulting in an increase of microbolometer sensitivity and speed of response. This was an aim of the present work. This paper presents the development of a new configuration of the microbolometer pixel with tantalum thin film used as an IR absorbing layer with high value of IR absorption (98 %) and low absorption non-uniformity (2.5 %) in the 8—14 μm spectral band, and also with high value of IR absorption (80 %) and low absorption non-uniformity (13 %) in the 3—14 μm spectral band. It has been found that reduction of the pixel layers’ thicknesses causes a threefold increase in microbolometer sensitivity with the dynamic range held constant.

Ключевые фразы: микроболометр, ик-детектор, коэффициент поглощения, ПИКСЕЛЬ, микроболометрическая матрица, ИК-излучение, нанотолщинная пленка, тепловизор
Автор (ы): Жукова Светлана Александровна, Турков Владимир Евгеньевич, Демин Сергей Анатольевич, Трошин Богдан Васильевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.231.6. Измерение полного излучения с помощью неселективных приемников. Вид неселективных приемников обозначать при помощи : (знак отношения), например,
621.382. Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника
eLIBRARY ID
26694803
Для цитирования:
ЖУКОВА С. А., ТУРКОВ В. Е., ДЕМИН С. А., ТРОШИН Б. В. МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКИЙ ДЕТЕКТОР, ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ В ДВУХ СПЕКТРАЛЬНЫХ ДИАПАЗОНАХ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2016. №4
Текстовый фрагмент статьи