Статья: ПРОЕКТИРОВАНИЕ ТЕРМОПАРНЫХ СЕНСОРОВ С ПОВЫШЕННЫМ БЫСТРОДЕЙСТВИЕМ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ (2022)

Читать онлайн

Проведены теоретическая оценка и аналитическое моделирование теплофизических параметров термопарных сенсоров с учетом требований по размерам сенсоров, их чувствительности и постоянной времени тепловой релаксации. Определены основные соотношения конструктивных элементов чувствительных ячеек с учетом характеристик технологических слоев, входящих в структуру мембран. Полученные результаты использованы в качестве исходных данных для топологического проектирования сенсорных элементов, и матричных массивов на их основе. Проведено проектирование топологии кристаллов с термопарными сенсорами с учетом возможностей технологического оборудования (нормы проектирования 0,8 мкм).

Ключевые фразы: ик приемник, микроэлектромеханическая система (мэмс), фотоприемное устройство (ФПУ), термоэлектрический эффект, эффект зеебека, микротермопара, термопарный сенсор, структура кремний на изоляторе (кни), эквивалентная шуму разность температур, постоянная времени тепловой релаксации
Автор (ы): Хафизов Ренат Закирович
Журнал: ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС)

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.382. Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника
Для цитирования:
ХАФИЗОВ Р. З. ПРОЕКТИРОВАНИЕ ТЕРМОПАРНЫХ СЕНСОРОВ С ПОВЫШЕННЫМ БЫСТРОДЕЙСТВИЕМ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ // ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС). 2022. № 4
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)