ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС)
Архив статей журнала
ПРОЕКТИРОВАНИЕ ТЕРМОПАРНЫХ СЕНСОРОВ С ПОВЫШЕННЫМ БЫСТРОДЕЙСТВИЕМ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ (2022)
Выпуск:
№ 4 (2022)
Проведены теоретическая оценка и аналитическое моделирование теплофизических параметров термопарных сенсоров с учетом требований по размерам сенсоров, их чувствительности и постоянной времени тепловой релаксации. Определены основные соотношения конструктивных элементов чувствительных ячеек с учетом характеристик технологических слоев, входящих в структуру мембран. Полученные результаты использованы в качестве исходных данных для топологического проектирования сенсорных элементов, и матричных массивов на их основе. Проведено проектирование топологии кристаллов с термопарными сенсорами с учетом возможностей технологического оборудования (нормы проектирования 0,8 мкм).