Статья: КОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ АЛМАЗНЫХ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ У Ф-ФОТОПРИЕМНЫХ УСТРОЙСТВ (2022)

Читать онлайн

Приводятся результаты исследований по разработке конструктивно-технологических решений многоэлементных фотоприемных алмазных устройств УФ-диапазона. Приведены результаты применения ионной имплантации бора и азота для формирования заглубленных фоточувствительных слоев. Показано, что полиэнергетическая имплантация больших доз бора позволяет получать слои с высокой проводимостью при комнатной температуре. Полученные экспериментальные зависимости по дозе и энергии ионов демонстрируют возможности создания сильно компенсированных, слаболегированных слоев p-типа и сильнолегированных слоев p+-ram. Показаны конструкция и топология фоточувствительных ячеек на основе ионно-имплантированных слоев матричных алмазных фотоприемников.

Ключевые фразы: алмаз, фотоприемное устройство, ультрафиолетовый диапазон, многоэлементный фотоприемник, ионная имплантация
Автор (ы): Алтухов Андрей Александрович
Журнал: ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС)

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
535.215. Электрическое действие. Фотоэлектрические явления. Фотоэлектрический эффект
621.383. Фотоэлектроника
Для цитирования:
АЛТУХОВ А. А. КОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ АЛМАЗНЫХ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ У Ф-ФОТОПРИЕМНЫХ УСТРОЙСТВ // ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС). 2022. № 4
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)