Статья: ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ АЛГОРИТМА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ВИЗУАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ МОНОЛИТНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ (2022)

Читать онлайн

В работе приведен разработанный авторами алгоритм автоматизированного визуального контроля монолитных интегральных схем и описываются его модификации для повышения эффективности. Осуществленные модификации заключаются в изменение порядка расчёта карты дефектности, введении расчёта средневзвешенного пиксельного расстояния и в изменении веса слоёв фотошаблона. Проведенное тестирование модификаций на наборах микрофотографий монолитных интегральных схем различных топологий показало, что изменение порядка расчёта карты дефектности и изменение коэффициента веса слоёв фотошаблона позволили существенно повысить повторяемость ручного визуального контроля до 98%.

Ключевые фразы: визуальный контроль, ДЕФЕКТОСКОПИЯ, карта дефектности, искусственная нейронная сеть, мис
Автор (ы): Ширяев Б. В.
Соавтор (ы): Аргунов Дмитрий Пантелеевич
Журнал: ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС)

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
004.896. Искусственный интеллект в промышленных системах. Интеллектуальные САПР и АСУ. Интеллектуальные роботы
Для цитирования:
ШИРЯЕВ Б. В., АРГУНОВ Д. П. ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ АЛГОРИТМА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ВИЗУАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ МОНОЛИТНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ // ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС). 2022. № 4
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)