Обработка подложек InSb с достижением морфологии поверхности, пригодной для молекулярно-лучевой эпитаксии (2024)

Рассмотрены физико-технологические методы подготовки поверхности монокристаллического антимонида индия (InSb) для молекулярно-лучевых процессов синтеза фоточувствительных слоев. Исследовано влияние основных параметров процессов шлифования, предфинишного полирования абразивной суспензией и финального химико-механического полирования на качество поверхности и основных параметров плоскопараллельности пластин-подложек InSb. В результате на пластинах InSb диаметром 50,8 мм достигнуты морфология поверхности и субнаношероховатый рельеф (Ra £ 0,5 нм), удовлетворяющие требованиям молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ). Разработана экспериментальная методика контроля качества и морфологии поверхности, основных параметров плоскопараллельности полупроводниковых подложек InSb в зависимости от изменения основных параметров процесса обработки поверхности

The work is devoted to the development of physical and technological methods for preparing the surface of single-crystal indium antimonide (InSb) for molecular beam processes for the synthesis of photosensitive layers. The influence of the main parameters of grinding processes, prefinish polishing with an abrasive suspension and final chemical-mechanical polishing on the surface quality and the main parameters of plane-parallelism of InSb substrate plates was studied. As a result, on InSb wafers with a diameter of 50.8 mm, a surface morphology and subnano-rough relief (Ra £ 0.5 nm) were achieved that meet the requirements of molecular beam epitaxy (MBE). An experimental technique has been developed for monitoring the quality and morphology of the surface, the main parameters of plane-parallelism of InSb semiconductor substrates, depending on changes in the main parameters of the surface treatment process.

Тип: Статья
Автор (ы): Трофимов Александр
Соавтор (ы): Молодцова Елена Владимировна, Косякова Анастасия Михайловна, Комаровский Никита Юрьевич, Клековкин Алексей Владимирович, Минаев Илья Иванович, Атрашков Антон Сергеевич
Ключевые фразы: шероховатость поверхности

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
538.958. Оптические свойства и спектры
Префикс DOI
10.51368
Текстовый фрагмент статьи