Статья: Продольный источник ионов с токовой автокомпенсацией фокусированного ионного пучка (2011)

Читать онлайн

Показано, что использование баллистической фокусировки в продольном ионном источнике холловского типа позволяет преобразовать форму ионного пучка из “эллипсовидной” в линейную и увеличить плотность тока ионного пучка на обрабатываемой поверхности. Исследовано влияние поперечного магнитного поля источника и краевых эффектов на форму пучка. Разработан плазменный нейтрализатор ионного пучка на основе дополнительного несамостоятельного газового разряда магнетронного типа с использованием эффекта “полого катода”.

In this work we introduce the ballistic focusing for the longitudinal Hall-type ion source. The focusing transforms the ion beam shape from ‘ellipsoidal’ one to linear one and increases the ion beam current density per the operating surface. The transversal magnetic field and edge effects are investigated as a factor influencing the beam shape. Charge neutralization of the ion beam is performed by plasma neutralizer, which uses supplementary semi-self-maintained magnetron-type discharge and hollow cathode effect.

Ключевые фразы: ионный источник, сфокусированный ионный пучок, токовая нейтрализация пучка, потенциал диэлектрической мишени
Автор (ы): Бизюков Александр Анатольевич (Bizyukov A. A.), Гирка Алексей Игоревич, Середа Константин Николаевич, Слепцов Владимир Владимирович, Ромащенко Елена Владимировна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.384. Получение и применение активных и корпускулярных излучений (электронные приборы)
Для цитирования:
БИЗЮКОВ А. А., ГИРКА А. И., СЕРЕДА К. Н., СЛЕПЦОВ В. В., РОМАЩЕНКО Е. В. ПРОДОЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ С ТОКОВОЙ АВТОКОМПЕНСАЦИЕЙ ФОКУСИРОВАННОГО ИОННОГО ПУЧКА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2011. №5
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.