Построена двумерная квазигидродинамическая модель полевой эмиссии электронов из кремниевого микрокатода, учитывающая эффекты разогрева электронов в сильном электрическом поле. Предложен оригинальный численный метод решения, обеспечивающий консервативность и слабую монотонность разностного решения. Проведено численное моделирование стационарных состояний эмиттера. Полученные результаты существенны при разработке эффективных кремниевых автокатодов для устройств вакуумной микроэлектроники.
Two-dimensional quasi-hydrodynamic model of hot electron field emission from silicon microcathode is developed. An original numerical method is suggested which ensures the conservatism and the weak monotony of a finite difference decision. The steady-state of the emitting cathode have been simulated. The results are essential for the vacuum microelectronics technology of effective silicon field emitter arrays.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.