Статья: Пространственное распределение параметров электронной компоненты азотной плазмы электродного микроволнового разряда при пониженных давлениях (2015)

Читать онлайн

Метод двойного электрического зонда использован для измерения пространственных распределений концентрации заряженных частиц, температуры электронов и постоянного потенциала в электродном микроволновом разряде в азоте при давлении 1 Торр. Показано, что вблизи электрода/антенны концентрация заряженных частиц превышает критическое значение. Концентрация и неоднородность разряда растут с увеличением микроволновой мощности.

The double probe method was used to measure the spatial distributions of charged particle density, electron temperature, and DC potential in the electrode microwave discharge in nitrogen at a pressure of 1 Torr. It is shown that charged particle concentration exceeds a critical value near the electrode/antenna. Concentration and axial nonuniformity of the discharge increases with increasing microwave power.

Ключевые фразы: микроволновая плазма, микроволновый разряд, зондовая диагностика, неравновесная плазма, микроволновая антенна
Автор (ы): Лебедев Юрий Анатольевич (Lebedev Y. A.), Крашевская Галина Витальевна, Гоголева Мария Александровна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.52. Электрические разряды
eLIBRARY ID
22932598
Для цитирования:
ЛЕБЕДЕВ Ю. А., КРАШЕВСКАЯ Г. В., ГОГОЛЕВА М. А. ПРОСТРАНСТВЕННОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОННОЙ КОМПОНЕНТЫ АЗОТНОЙ ПЛАЗМЫ ЭЛЕКТРОДНОГО МИКРОВОЛНОВОГО РАЗРЯДА ПРИ ПОНИЖЕННЫХ ДАВЛЕНИЯХ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2015. №1
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)