Проведено исследование излучательных характеристик индукционного разряда низкого давления на частотах 0,5—12,0 МГц и мощности 25—130 Вт в смеси паров ртути ( ≈ 10-2 Торр) и аргона (0,1—0,6 Торр) в трубках длиной 300 мм и диаметром 40, 50, 60 и 70 мм с помощью индуктивной катушки, охватывающей трубку по ее продольному периметру. Установлено, что потоки и КПД генерации резонансного ультрафиолетового (УФ) излучения лампы на длинах волн 185 и 254 нм возрастают с увеличением диаметра разрядной трубки, числа витков катушки и частоты разрядного тока и уменьшаются с увеличением давления аргона. Установлено, что влияние частоты разрядного тока на излучательные характеристики ламп проявляется «через» КПД индуктивной катушки ηcoil = 1–(Pcoil/P). Обнаружено, что поток и КПД генерации УФ-излучения плазмы на длине волны 185 нм возрастают с увеличением мощности плазмы. Зависимость КПД генерации УФ-излучения лампы на длине волны 254 нм от мощности лампы имеет максимум на той же мощности, на которой зависимость мощности потерь в проводе катушки Pcoil от мощности лампы имеет минимум. Увеличение диаметра трубки, частоты разрядного тока, числа витков катушки и давления аргона сдвигает положение максимума в сторону меньших мощностей лампы. Результаты расчета суммарного КПД генерации УФ-излучения ηUV = η185 + η254 качественно согласуются с результатами эксперимента.
UV radiation characteristics of ferrite-free inductively-coupled discharges excited at a frequency of 0.5—12.0 MHz and RF power of 25—140 W in the mixture of mercury vapor (0.01 Torr) and argon (0.1—0.6 Torr) were theoretically and experimentally studied. Discharges were ignited in cylindrical tubes of 300 mm in length and of 40, 50, 60 and 70 mm in diameter with the help of an induction coil of 1, 2 and 3 turns wrapped around the discharge tube along its axial periphery. It was found that lamp mercury resonant UV radiation fluxes, F185 and F254 grew as lamp power P increased. Discharge lamp resonant UV radiation generation efficiencies, η185 = F185/P and η254 = F254/P were found to grow as argon pressure decreased and as discharge tube diameter D, discharge excitation frequency f, and coil number of turns n increased. Discharge frequency f was found to effect lamp UV radiation efficiencies η185 and η254 via induction coil power efficiency ηcoil = 1 – (Pcoil/P). It was found that lamp UV radiation generation efficiency η185 grew as lamp power P increased while lamp UV radiation generation efficiency η254 dependence on lamp power P had the maximum at the same power Pmin at which coil power losses Pcoil were minimal. The increase of lamp tube diameter, argon pressure, discharge frequency, and induction coil number shifted lamp power Pmin to the lower powers. The results of the calculations of the lamp total UV radiation generation efficiency, ηUV = η185 + + η254, were in qualitative agreement with the experimental data.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 26744172