Проведено исследование профилей концентрации и оптических констант ионноимплантированных пленок соединений халькогенидов элементов первой группы. Основными параметрами, определяющими относительные пробеги частиц в пленке материалов, являются атомный номер и масса бомбардирующих частиц и атомов мишени. Оптические константы облученных поверхностей пленок соединений халькогенидов элементов первой группы изменяются по сравнению с исходными значениями, причем их изменения тем больше, чем выше доза облучения и чем тяжелее внедряемые ионы. Минимальная доза, необходимая для изменения оптических констант, с уменьшением массы иона увеличивается, показатель преломления увеличивается, коэффициент экстинкции уменьшается. Показано, что максимум концентрационного профиля ионно-имплантированной примеси смещается к поверхности с увеличением порядкового номера и атомного веса внедренного иона. Профили концентрации по глубине хорошо согласуются с теоретическими выводами о положении и распределении имплантированных ионов.
Consideration is given to profiles of concentration and optical constants of ion-implanted films of chalcogenide compounds of the first group elements. The main parameters that determine the relative runs of the particles in the film materials are the atomic number and mass of the bombarding particles and target atoms. The optical constants of the films irradiated surfaces compounds chalcogenide of elements of the first group change compared to baseline with, the more they change, the higher the radiation dose, and heavier ions are being introduced. The minimal dose necessary to change the optical constants, with a decrease in the ion mass increases, the refractive index increases, the extinction coefficient decreases. It is shown that the maximum concentration profile of an ion-implanted dopant moves to the surface with increasing atomic number and atomic weight of the ion implanted. Concentration depth profiles are in good agreement with the theoretical conclusions on the status and distribution of the implanted ions.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 26744175
Исследования показали, что максимум концентрационных профилей ионно-имплантированной примеси халькогенидов элементов первой группы смещается к поверхности с увеличением порядкового номера и атомного веса внедренного иона при облучении, показатель преломления увеличивается, а коэффициент экстинкции уменьшается. Изменения оптических констант обусловлены изменением дефектности исследуемых пленок.
Профили концентрации по глубине хорошо согласуются с теоретическими выводами о положении и распределении имплантированных ионов.
Заметим, что применение ионно-лучевой технологии к соединениям халькогенидов элементов первой группы связано с возможностью создания на их основе эффективных источников тока и фотопреобразователей.
Список литературы
1. Мейер Дж., Эриксон Л., Девис Дж. Ионное легирование полупроводников. — М.: Мир, 1973.
2. Schiott U. E. Radiat. Eff. 1970. Vol. 6. No. 1. P. 107.
3. Фельдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. — М.: Мир, 1989.
4. Шульман А. Р., Фридрихов С. А. Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела. — М.: Наука, 1977.
5. Комаров Ф. Ф., Кумахов М. А., Ташлыков И. С. Неразрушающий анализ поверхностей твердых тел ионными пучками. — Мн.: Университетское, 1987.
6. Оцуки Ё. Х. Взаимодействие заряженных частиц с твердыми телами. — М.: Мир, 1985.
7. Еловиков С. С. Электронная спектроскопия поверхности и тонких пленок. — М.: МГУ, 1992.
8. Chu W. K., Mayer J. W., Nicolet M. A. Backscattering Spectroscopy. — N. Y.: Academic Press, 1978.
9. Пшеницин В. И., Абаев М. И., Лызлов Н. Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. — Л.: Химия, 1986.
10. Аззам Р. М., Башара Н. М. Эллипсометрия и поляризованный свет. — М.: Мир, 1981.
1. J. Meyer, L. Erickson, and J. Davies. Ion alloying of semiconductors. (Moscow, Mir, 1973) [in Russian].
2. U. E. Schiott, Radiat. Eff., 6 (1), 107 (1970).
3. L. Feldman and D. Mayer. Basics of analysis of surfaces and thin films. (Moscow, Mir, 1989) [in Russian].
4. A. R. Shulman and S. A. Fridrikhov, Secondary-emissive research methods solid. (Moscow, Nauka, 1977) [in Russian].
5. F. F. Komarov, M. A. Kumakhov, and I. S. Tashlykov. Non-destructive analysis of solid surfaces by ion beams. (Minsk, University, 1987) [in Russian].
6. Yo. H. Otsuki, The interaction of charged particles with solids. (Moscow, Mir, 1985) [in Russian].
7. S. S. Elovikov, Electronic spectroscopy of surfaces and thin films. (Moscow, MGU, 1992) [in Russian].
8. W. K. Chu, J. W. Mayer, and M. A. Nicolet, Backscattering spectroscopy. (N. Y.: Academic Press, 1978).
9. V. I. Pshenitsyn, M. I. Abaev, and N. Y. Lyzlov. Ellipsometry in the physico-chemical studies. (Leningrad, Chemistry, 1986) [in Russian].
10. R. M. Azzam and N. M. Bashar, Ellipsometry and polarized light. (Moscow, Mir, 1981) [in Russian].
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ОБЩАЯ ФИЗИКА
Котов В. М., Шкердин Г. Н., Аверин С. В., Котов Е. В. Высокочастотная акустооптическая дифракция четырехцветного излучения на одной акустической волне 321
Петрин А. Б. О нанофокусировке света на вершине металлического микроострия, расположенного над плоскослоистой структурой 326
Виноградов С. В., Кононов М. А. Расчет параметров многослойной структуры при резонансном возбуждении поверхностных плазмонов 343
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Зимин С. П., Горлачев Е. С., Мокров Д. А., Амиров И. И., Гременок В. Ф., Иванов В. А. Динамика роста наноструктур на поверхности пленок SnS при плазменной обработке 349
Ивонин В. В., Данилин А. Н., Ефимов Б. В., Колобов В. В., Селиванов В. Н., Василяк Л. М., Ветчинин С. П., Печеркин В. Я., Сон Э. Е. Оптические изображения искровых каналов при растекании импульсных токов в грунте 355
Поляков Д. Н., Шумова В. В., Василяк Л. М. Положительный столб тлеющего разряда в неоне с заря-женными микрочастицами (обзор) 362 Свитнев С. А., Попов О. А., Левченко В. А., Старшинов П. В. Характеристики бесферритного индук-ционного разряда низкого давления. Часть 2. Излучательные характеристики плазмы 372
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Бурлаков И. Д., Козлов К. В., Патрашин А. И., Соляков В. Н., Филачев А. М. Аналитическая модель облученности многоспектральных матричных фотоприемных устройств 385
Яковлева Н. И., Никонов А. В. Особенности спектральных зависимостей поглощения в структурах А3В5 и А2В6 394
МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Мустафаев Г. А., Мустафаева Д. Г., Мустафаев М. Г. Профили концентрации и оптические константы ионно-имплантированных пленок соединений халькогенидов элементов первой группы 403
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ
Савенкова Н. П., Кузьмин Р. Н., Анпилов С. В., Калмыков А. В. Моделирование влияния динамики изменения внутреннего пространства ванны алюминиевого электролизёра на МГД-процессы 409
Мандрыко Ю. А. Исследование режимов функционирования газоразрядной лампы в электрической схеме с коммутирующим биполярным транзистором с изолированным затвором (IGBT) 416
ИНФОРМАЦИЯ
Импакт-факторы российских научных журналов за 2015 г. по данным Thomson Reuters 428
Правила для авторов 432
C O N T E N T S
GENERAL PHYSICS
V. M. Kotov, G. N. Shkerdin, S. V. Averin, and E. V. Kotov High frequency acousto-optic diffraction of the four-color radiation on the single acoustic wave 321
A. B. Petrin On the nanofocusing of light at the apex of a metal microtip near the multilayer thin film structure 326
S. V. Vinogradov and M. A. Kononov Calculation of parameters of a multilayered structure at the surface plasmon resonance 343
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
S. P. Zimin, E. S. Gorlachev, D. A. Mokrov, I. I. Amirov, V. F. Gremenok, and V. A. Ivanov Nanostructure growth dynamics on the surface of SnS films during plasma treatment 349
V. V. Ivonin, A. N. Danilin, B. V. Efimov, V. V. Kolobov, V. N. Selivanov, L. M. Vasilyak, S. P. Vetchinin, V. Ya. Pecherkin, and E. E. Son Optical images of spark channels under a spreading pulse current in soil 355
D. N. Polyakov, V. V. Shumova, and L. M. Vasilyak Positive column of glow discharge in neon with charged microparticles (a review) 362
S. A. Svitnev, O. A. Popov, V. A. Levchenko, and P. V. Starshinov Characteristics of the ferrite-free low pressure inductively-coupled discharge. Part 2. Plasma UV radiation characteristics 372
PHOTOELECTRONICS
I. D. Byrlakov, K. V. Kozlov, A. I. Patrashin, V. N. Solyakov, and A. M. Filachev The analytical model of irradiance for focal plane of multispectral FPA 385
N. I. Iakovleva and A. V. Nikonov Features of experimental absorption spectra in the А3В5 и А2В6 semi-conductor structures 394
MATERIALS SCIENCE
G. A. Mustafaev, D. G. Mustafaeva, and M. G. Mustafaev Concentration profiles and optical constants for ion-implanted films of chalcogenide compounds of the first group elements 403
PHYSICAL EQUIPMENT AND ELEMENTS
N. P. Savenkov, R. N. Kuzmin, S. V. Anpilov, and A. V. Kalmykov Mathematical modeling of influence of an electrolysis reduction cell shape on MHD processes 409
Yu. A. Mandryko Research of gas discharging lamp modes in an electrical circuit with the switching insu-lated-gate bipolar transistor (IGBT) 416
INFORMATION
Thomson Reuters Impact Factors for Russian Journals in 2015 428 Rules for authors 432
Другие статьи выпуска
Проведено исследование режимов функционирования импульсной ксеноновой лампы в электрической схеме с коммутирующим IGBT-транзистором, позволяющей реализовать работу газоразрядной лампы в следующих режимах:
-
ограничение скорости изменения и амплитуды тока накачки электрическими процессами в дросселе и физическими процессами в самой лампе,
-
ограничение скорости изменения и амплитуды тока накачки только физическими процессами в самой лампе.
В работе описана трёхмерная и трёхфазная математическая модель математическая процесса промышленного электролиза алюминия, которая основана на системе уравнений Навье-Стокса, системе уравнений Максвелла с использованием уравнения для поиска температуры в рабочем пространстве ванны. Характерной особенностью данной модели является непосредственное влияние температуры на форму рабочего пространства ванны, которое проявляется в размытии и кристаллизации настыли и гарнисажа алюминиевого электролизёра. С помощью представленной математической модели проводится численное исследование динамики изменения настыли при вариации начальной конфигурации рабочего пространства ванны. На основе графиков раздела сред для различной формы гарнисажа сделан вывод о наиболее МГД-стабильной форме электролизной ванны.
Проведены экспериментальные исследования коэффициента поглощения в структурах HgCdTe с одним фоточувствительным слоем р-типа проводимости, выращенных методами жидкофазной эпитаксии на подложках CdZnTe, эпитаксией из металлоорганических соединений и молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках GaAs, а также сравнение экспериментальных данных с теоретической классической моделью коэффициента поглощения, основанной на явлении собственного поглощения и общей теории прямых межзонных оптических переходов, и другими эмпирическими зависимостями. В области энергий ħω > Eg (области собственного поглощения) для всех образцов на основе материала HgCdTe получено удовлетворительное соответствие экспериментальных и теоретических зависимостей коэффициента поглощения. В области энергий ħω < Eg (область Урбаха) у структур HgCdTe, выращенных методами ЖФЭ, МЛЭ и МОС, наблюдаются отклонения характеристик поглощения по сравнению с теоретическими экспоненциальными зависимостями Урбаха. Экспериментальные исследования коэффициента поглощения структур InGaAs, выращенных эпитаксией из металлоорганических соединений на кристаллически соответствующих подложках InP, показали соответствие экспериментальных и теоретических зависимостей в рабочей области длин волн. Отклонение угла наклона теоретической и экспериментальной характеристик поглощения структур на основе InGaAs в 6— 10 раз меньше, чем у структур HgCdTe, что показывает на лучшее кристаллическое совершенство материалов группы А3В5 и их пригодность для изготовления фотоприемных устройств с предельными параметрами.
Разработана аналитическая модель облученности фотослоя сканирующих и смотрящих матричных фотоприемных устройств (МФПУ). Плоскость фотослоя МФПУ в общем случае представляет собой любой заданный набор матриц фоточувствительных элементов (МФЧЭ) с различными спектральными характеристиками и расположением. Конструкция оптического тракта также представляет собой набор заданных плоскостей с любыми заданными окнами (диафрагмами), светопоглощающими экранами и светофильтрами, согласованными с заданным объективом и МФЧЭ. Учтены такие паразитные компоненты, как облученность от объектива, от всех светопоглощающих экранов и внешнего корпуса, от окон, с учетом их спектральных коэффициентов пропускания. Рассмотрены случаи с однородным и неоднородным внешним фоном, с изображением объектов с низкими и высокими пространственными частотами вплоть до точечных изображений.
Проведено исследование излучательных характеристик индукционного разряда низкого давления на частотах 0,5—12,0 МГц и мощности 25—130 Вт в смеси паров ртути ( ≈ 10-2 Торр) и аргона (0,1—0,6 Торр) в трубках длиной 300 мм и диаметром 40, 50, 60 и 70 мм с помощью индуктивной катушки, охватывающей трубку по ее продольному периметру. Установлено, что потоки и КПД генерации резонансного ультрафиолетового (УФ) излучения лампы на длинах волн 185 и 254 нм возрастают с увеличением диаметра разрядной трубки, числа витков катушки и частоты разрядного тока и уменьшаются с увеличением давления аргона. Установлено, что влияние частоты разрядного тока на излучательные характеристики ламп проявляется «через» КПД индуктивной катушки ηcoil = 1–(Pcoil/P). Обнаружено, что поток и КПД генерации УФ-излучения плазмы на длине волны 185 нм возрастают с увеличением мощности плазмы. Зависимость КПД генерации УФ-излучения лампы на длине волны 254 нм от мощности лампы имеет максимум на той же мощности, на которой зависимость мощности потерь в проводе катушки Pcoil от мощности лампы имеет минимум. Увеличение диаметра трубки, частоты разрядного тока, числа витков катушки и давления аргона сдвигает положение максимума в сторону меньших мощностей лампы. Результаты расчета суммарного КПД генерации УФ-излучения ηUV = η185 + η254 качественно согласуются с результатами эксперимента.
Экспериментально и численно исследовано влияние заряженных пылевых частиц микронного размера на электрические параметры положительного столба тлеющего разряда постоянного тока низкого давления в неоне. Численный анализ выполнен в рамках модели плазмы разряда в диффузионно-дрейфовом приближении с учётом взаимодействия пылевых частиц с метастабильными атомами неона. В разряде с облаком пылевых частиц напряженность продольного электрического поля возрастает. При увеличении концентрации пылевых частиц, в осесимметричном пылевом облаке цилиндрической формы приращение напряженности электрического поля выходит на насыщение. Показано, что вклад метастабильных атомов в ионизацию выше в разряде с частицами, несмотря на тушение метастабильных атомов на пылевых частицах. Рассмотрены процессы зарядки пылевых частиц и пылевого облака. С ростом концентрации пылевых частиц их заряд уменьшается, однако объемный заряд пылевого облака увеличивается. Результаты работы могут быть использованы в области плазменных технологий с микрочастицами.
В лабораторных условиях исследовано возникновение искровых каналов во влажном грунте у электрода при растекании импульсного тока c длительностью в диапазоне от нескольких микросекунд до сотен микросекунд при амплитуде напряжения 20—50 кВ. Разработана диагностика регистрации искровых каналов в объеме грунта. Впервые получены оптические изображения искровых каналов в грунте вблизи электродов различной формы. Подтверждено, что причиной образования искровых каналов при нелинейном растекании импульсного тока в грунте, когда происходит резкое уменьшение сопротивления заземления, является ионизационно-перегревная неустойчивость, возникающая при плотности тока на электроде больше критической. Развитие неустойчивости приводит к неоднородному распределению тока по сечению и возникновению искровых каналов.
В работе исследовано формирование массивов конических наноструктур на поверхности нанокристаллических пленок сульфида олова при обработке пленок в аргоновой плазме индукционного разряда в течение 30 и 60 с. Исходные слои SnS выращивались методом «горячей стенки» при температуре стеклянных подложек 290 °C и характеризовались лепестковой структурой с толщиной пластинок 50—300 нм. Показано, что плазмостимулированный рост наноструктур имеет место одновременно со сглаживанием развитой исходной поверхности пленок. Описаны геометрические параметры наноструктур сульфида олова, особенности их локализации, проанализированы основные закономерности динамики их роста по времени. Показано, что рост наноструктур SnS в ходе плазменной обработки имеет сложный характер и происходит с участием самоформирующихся сферических затравок Sn по механизму «пар-жидкость-кристалл» при локализации на торцах крупных нанокристаллитов.
В данной работе описывается метод вычисления резонансной кривой зависимости коэффициента отражения при возбуждении поверхностного плазмонного резонанса (ППР) для многослойной структуры. Для проверки метода были получены магнетронным напылением плёнки в виде чередующихся тонких слоёв SiC и SiO2. Сравнение экспериментальных и расчётных данных показало хорошее согласие в полученных результатах. Возбуждаемые поверхностные электромагнитные волны (ПЭВ) распространяются в узком приповерхностном слое и имеют широкое применение в научных приложениях: в исследованиях поверхности полупроводников и металлов, в исследованиях переходных, адсорбционных и окисных слоёв, в исследованиях всевозможных физических и химических процессов, протекающих в приповерхностной области. На основе модельных вычислений показаны области применимости рассмотренных методов.
Исследуется фокусировка электромагнитной энергии оптического диапазона частот в наноразмерную пространственную область в окрестности нановершины металлического микроострия, расположенного вблизи слоистой структуры, состоящей из плоских диэлектрических и/или металлических слоев. Предполагается, что фокусировка возникает при симметричном схождении к нановершине поверхностной плазмонной TM-волны. Граница металла вблизи нановершины приближается поверхностью параболоида вращения. Разработан численный метод нахождения электрического поля в окрестности вершины острия, включая слоистую структуру. Результаты расчетов показали, что по сравнению с одиночным острием наличие структуры приводит к дополнительной концентрации электрического поля вблизи нановершины. Оказалось, что главное влияние на фокусировку оказывает верхняя плёнка слоистой структуры.
Предложен вариант брэгговской дифракции, обеспечивающий эффективное акустооптическое взаимодействие четырехцветного излучения с одной акустической волной на высокой частоте звука. Вариант опробован на примере дифракции четырехцветного излучения с длинами волн 0,488, 0,496, 0,514 и 0,633 мкм, взаимодействующих с одной акустической волной в монокристалле парателлурита. Эффективная дифракция получена на частоте поперечного звука, равной 165 МГц.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400