Проведено исследование профилей концентрации и оптических констант ионноимплантированных пленок соединений халькогенидов элементов первой группы. Основными параметрами, определяющими относительные пробеги частиц в пленке материалов, являются атомный номер и масса бомбардирующих частиц и атомов мишени. Оптические константы облученных поверхностей пленок соединений халькогенидов элементов первой группы изменяются по сравнению с исходными значениями, причем их изменения тем больше, чем выше доза облучения и чем тяжелее внедряемые ионы. Минимальная доза, необходимая для изменения оптических констант, с уменьшением массы иона увеличивается, показатель преломления увеличивается, коэффициент экстинкции уменьшается. Показано, что максимум концентрационного профиля ионно-имплантированной примеси смещается к поверхности с увеличением порядкового номера и атомного веса внедренного иона. Профили концентрации по глубине хорошо согласуются с теоретическими выводами о положении и распределении имплантированных ионов.
Consideration is given to profiles of concentration and optical constants of ion-implanted films of chalcogenide compounds of the first group elements. The main parameters that determine the relative runs of the particles in the film materials are the atomic number and mass of the bombarding particles and target atoms. The optical constants of the films irradiated surfaces compounds chalcogenide of elements of the first group change compared to baseline with, the more they change, the higher the radiation dose, and heavier ions are being introduced. The minimal dose necessary to change the optical constants, with a decrease in the ion mass increases, the refractive index increases, the extinction coefficient decreases. It is shown that the maximum concentration profile of an ion-implanted dopant moves to the surface with increasing atomic number and atomic weight of the ion implanted. Concentration depth profiles are in good agreement with the theoretical conclusions on the status and distribution of the implanted ions.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 26744175
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.