Статья: Профили концентрации и оптические константы ионно-имплантированных пленок соединений халькогенидов элементов первой группы (2016)

Читать онлайн

Проведено исследование профилей концентрации и оптических констант ионноимплантированных пленок соединений халькогенидов элементов первой группы. Основными параметрами, определяющими относительные пробеги частиц в пленке материалов, являются атомный номер и масса бомбардирующих частиц и атомов мишени. Оптические константы облученных поверхностей пленок соединений халькогенидов элементов первой группы изменяются по сравнению с исходными значениями, причем их изменения тем больше, чем выше доза облучения и чем тяжелее внедряемые ионы. Минимальная доза, необходимая для изменения оптических констант, с уменьшением массы иона увеличивается, показатель преломления увеличивается, коэффициент экстинкции уменьшается. Показано, что максимум концентрационного профиля ионно-имплантированной примеси смещается к поверхности с увеличением порядкового номера и атомного веса внедренного иона. Профили концентрации по глубине хорошо согласуются с теоретическими выводами о положении и распределении имплантированных ионов.

Consideration is given to profiles of concentration and optical constants of ion-implanted films of chalcogenide compounds of the first group elements. The main parameters that determine the relative runs of the particles in the film materials are the atomic number and mass of the bombarding particles and target atoms. The optical constants of the films irradiated surfaces compounds chalcogenide of elements of the first group change compared to baseline with, the more they change, the higher the radiation dose, and heavier ions are being introduced. The minimal dose necessary to change the optical constants, with a decrease in the ion mass increases, the refractive index increases, the extinction coefficient decreases. It is shown that the maximum concentration profile of an ion-implanted dopant moves to the surface with increasing atomic number and atomic weight of the ion implanted. Concentration depth profiles are in good agreement with the theoretical conclusions on the status and distribution of the implanted ions.

Ключевые фразы: пленка, профиль, облучение, оптические константы, концентрация, доза, ДЕФЕКТ, ион, параметр, свойства, показатель преломления, коэффициент экстинкции
Автор (ы): Мустафаев Гусейн Абакарович, Мустафаева Джамиля Гусейновна, Мустафаев Марат Гусейнович
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315. Передача электрической энергии. Провода и кабели, используемые для передачи энергии и для связи. Проводники. Электроизоляционные материалы. Линейная арматура. Сооружение линий электропередачи
eLIBRARY ID
26744175
Для цитирования:
МУСТАФАЕВ Г. А., МУСТАФАЕВА Д. Г., МУСТАФАЕВ М. Г. ПРОФИЛИ КОНЦЕНТРАЦИИ И ОПТИЧЕСКИЕ КОНСТАНТЫ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ПЛЕНОК СОЕДИНЕНИЙ ХАЛЬКОГЕНИДОВ ЭЛЕМЕНТОВ ПЕРВОЙ ГРУППЫ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2016. ТОМ 4, №4
Текстовый фрагмент статьи