Статья: СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ВЕГА - СИСТЕМА ДЛЯ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ (2022)

Читать онлайн

Изложены возможности нового прибора разработки Компании ООО «НТ-МДТ» - сканирующего зондового микроскопа «ВЕГА», способного работать с образцами размером до 200х200х40 мм с предельным для атомно-силовой микроскопии разрешением для исследования свойств и метрологического контроля поверхностных наноструктур микро и наноэлектроники.

Ключевые фразы: сканирующий туннельный микроскоп, стм, сканирующий атомно-силовой микроскоп, АСМ, сканирующий зондовый микроскоп, сзм, комбинационное рассеяние, рамановская спектроскопия, рамановская микроскопия сверхвысокого разрешения, ближнепольная оптическая микроскопия, безапертурная сканирующая зондовая микроскопия ближнего поля, кантилевер, картридж, нанотехнология, МЕТРОЛОГИЯ, нанометрология, НАНОЭЛЕКТРОНИКА, медицина, диагностика, онкология, вирусы
Автор (ы): Быков Виктор Александрович
Соавтор (ы): Быков Александр Викторович, Бобров Юрий Анатольевич, Котов Владимир Васильевич, Леесмент Станислав Игоревич, Поляков Вячеслав Викторович
Журнал: ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС)

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
539.232. химическим путем, например оксидированием
Для цитирования:
БЫКОВ В. А., БЫКОВ А. В., БОБРОВ Ю. А., КОТОВ В. В., ЛЕЕСМЕНТ С. И., ПОЛЯКОВ В. В. СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ВЕГА - СИСТЕМА ДЛЯ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ // ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС). 2022. № 3
Текстовый фрагмент статьи