Статья: ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЕВ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ И КОМПОЗИТНЫХ СТРУКТУР (2022)

Читать онлайн

Исследована структура слоев пористого кремния, сформированных при различных плотностях тока и продолжительностях анодной электрохимической обработки. Произведен статистический анализ распределения по размерам (диаметрам пор и толщине скелета) элементов матрицы пористого кремния, полученного в различных режимах анодирования. Разработана методика удаления приповерхностного слоя пористого кремния, вызывающего трудности при электрохимическом заполнении каналов пор металлами, и оценен эффект данной операции на структурные параметры внутренних областей пористого кремния. Даны рекомендации касательно применения слоев пористого кремния в составе гетероэпитаксиальных структур и нанокомпозитов на основе пористого кремния и германия, позволяющих обеспечить возможность реализации более оптимальных подходов к синтезу высокоэффективных термоэлектрических устройств.

Ключевые фразы: пористый кремний, электрохимическое осаждение, гетероэпитаксия, нанокомпозитные структуры
Автор (ы): Гревцов Никита Леонидович
Соавтор (ы): Лопато У. П., Чубенко Евгений Борисович, Бондаренко Виталий Парфирович, Гаврилин Илья Михайлович, Дронов Алексей Алексеевич, Гаврилов Станислав Анатольевич
Журнал: ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС)

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
539.23. Получение тонких слоев, тонких пленок
Для цитирования:
ГРЕВЦОВ Н. Л., ЛОПАТО У. П., ЧУБЕНКО Е. Б., БОНДАРЕНКО В. П., ГАВРИЛИН И. М., ДРОНОВ А. А., ГАВРИЛОВ С. А. ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЕВ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ И КОМПОЗИТНЫХ СТРУКТУР // ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС). 2022. № 3
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)