Статья: ОЦЕНКА ВЛИЯНИЯ КОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ НА ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ NМОП-ДОЗИМЕТРА НА БАЗЕ КМОП-ТЕХНОЛОГИИ (2022)

Читать онлайн

С использованием средств TCAD проведена оценка влияния радиационного воздействия в диапазоне доз 20кРад - 1000кРад и толщины подзатворного окисла на сдвиг порогового напряжения и чувствительность пМОП-дозиметра на базе КМОП-технологии с изоляцией LOCOS, в котором роль подзатворного окисла выполняет толстый изолирующий слой (FOXFET). Модель FOXFET сформирована в TCAD посредством моделирования КМОП-технологического маршрута с проектными нормами 0.6 мкм. Результаты моделирования показали, что чувствительность падает с ростом дозы облучения, наибольший спад наблюдается при малых дозах до 50 кРад, при дальнейшем увеличении дозы вплоть до 1000кРад наблюдается плавное снижение, которое можно объяснить постепенным насыщением ловушек в окисле зарядом. Существенный рост чувствительности прибора наблюдается с ростом толщины окисла. С помощью моделирования также рассчитаны зависимости чувствительности дозиметра от режимов формирования локального окисла.

Ключевые фразы: МОП-ТРАНЗИСТОР, моделирование, tcad, дозиметр радиации, электрические характеристики
Автор (ы): Бекенова А. Т.
Соавтор (ы): Артамонова Евгения Анатольевна, Красюков Антон Юрьевич
Журнал: ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС)

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.3.049.771. Интегральные схемы в соответствии с масштабами интеграции
Для цитирования:
БЕКЕНОВА А. Т., АРТАМОНОВА Е. А., КРАСЮКОВ А. Ю. ОЦЕНКА ВЛИЯНИЯ КОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ НА ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ NМОП-ДОЗИМЕТРА НА БАЗЕ КМОП-ТЕХНОЛОГИИ // ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС). 2022. № 3
Текстовый фрагмент статьи