Особенности инжекции электронов из плазмы эмиттерного разряда в планарную магнетронную распылительную систему (2022)

Изучены особенности инжекции электронов из плазмы эмиттерного разряда в разрядную систему планарного магнетронного разряда. В качестве эмиттерного разряда использовались тлеющий разряд с полым катодом и вакуумная дуга. Инжекция электронов осуществлялась через центральное отверстие в мишени магнетрона. Давление рабочего газа (аргон) в вакуумной камере составляло 0,05–0,09 Па. Эмиттерный тлеющий разряд в полом катоде функционировал как в слаботочном непрерывном режиме (10–100 мА), так и сильноточном импульсном режиме (10–20 А, 25 мкс, 1 Гц). Вакуумный дуговой эмиттер функционировал в импульсном режиме (10–60 А, 200 мкс, 1 Гц). Измерены токи эмиссии для различных конфигураций разрядной системы, в том числе определены условия, обеспечивающие полное переключение электронного компонента тока эмиттера в разрядную систему магнетронного распылителя.

The special features of the central injection of electrons from the emitter discharge plasma into the discharge system of a planar magnetron are studied. A glow discharge with a hollow cath-ode and a vacuum arc were used as an emitter discharge. The injection of electrons was carried out through the central hole in the magnetron target. The pressure of the working gas (argon) in the vacuum chamber was 0.05–0.09 Pa in the case of glow discharge emitter.

The emitter glow discharge in the hollow cathode functioned in both low-current continuous mode (10–100 mA) and high-current pulse mode (10–20 A, 25 microseconds, 1 Hz). The vacuum arc emitter operated in pulse mode (10–60 A, 200 microseconds, 1 Hz). Emission currents were measured for various configurations of the discharge system, including the conditions for the complete switching of the electronic component of the emitter current into the discharge sys-tem of the magnetron sputter.

Тип: Статья
Автор (ы): Шандриков Максим Валентинович
Соавтор (ы): Окс Ефим, Черкасов Александр Алексеевич
Ключевые фразы: КОЛЛЕКТОР

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525. Электрические разряды в газах при пониженном давлении. Тлеющие разряды
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-3-17-24
eLIBRARY ID
49167078
Текстовый фрагмент статьи