Эффект перекристаллизации при рафинировании металлургического кремния в электронно-пучковой плазме (2022)

Предложен метод плазмохимического рафинирования металлургического кремния. Метод основан, во-первых, на испарении легколетучих примесей за счет быстрого разогрева металлургического кремния с помощью электронного пучка. Во-вторых, на переводе труднолетучих примесей в их легколетучие соединения в химически актив-ной электронно-пучковой плазме. И в-третьих, на перекристаллизации полученного кремния под действием электронного пучка. Указанным методом на лабораторном оборудовании проведено рафинирование металлургического кремния. Показано, что за счет использования перекристаллизации кремния под действием электронного пучка эффективность рафинирования существенно увеличена.

A method for plasma-chemical refining of metallurgical silicon is proposed. The method is based, firstly, on the evaporation of volatile impurities due to the rapid heating of metallurgical silicon using an electron beam. Secondly, on the conversion of non-volatile impurities into their highly volatile compounds in a chemically active electron-beam plasma. And thirdly, on the recrystallization of the obtained silicon under the action of an electron beam. Metallurgical silicon refining was carried out using the indicated method on laboratory equipment.

It is shown that due to the use of silicon recrystallization under the action of an electron beam, the refining efficiency is significantly increased.

Тип: Статья
Автор (ы): Константинов Виктор Олегович
Соавтор (ы): Щукин Виктор Геннадьевич, Шарафутдинов Равель Газизович
Ключевые фразы: масс-спектрометрия

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2022-3-5-10
eLIBRARY ID
49167076
Текстовый фрагмент статьи