Читать онлайн

В СВЧ-плазме (частота 2,45 ГГц) в смесях водород—метан на подложках из природных и синтетических монокристаллов алмаза с ориентацией (100) и размером до 5x5 мм выращены эпитаксиальные алмазные слои со скоростью осаждения до 40 мкм/ч. Структура и дефектно-примесный состав полученных монокристаллов толщиной до 600 мкм исследованы методами оптической спектроскопии, электронной и оптической микроскопии. Подтверждено высокое качество и чистота осажденных из плазмы алмазных слоев.

Microwave plasma (2.45 GHz) was used to deposit the single crystal diamond layers with a deposition rate up to 40 µm/h on natural and HPHT monocrystalline substrates with deposition surface (100) and dimensions up to 5×5 mm. The deposited layers structure and defect/impurities composition have been studied by Raman and photoluminescence spectroscopy, cathode luminescence spectroscopy, electron and optic microscopy. The high quality of the synthesized layers has been confirmed.

Ключевые фразы: монокристалл, алмаз, эпитаксия, химическое осаждение из газовой фазы, свч- плазма, фотолюминесценция, катодолюминесценция
Автор (ы): Большаков Андрей Петрович (Bolshakov A. P.), Ральченко Виктор Григорьевич, Польский Алексей Викторович, Конов Виталий Иванович, Ашкинази Евгений Евсеевич, Хомич Андрей Александрович, Заведеев Евгений Викторович, Совык Дмитрий Николаевич, Шаронов Геннадий Викторович, Хмельницкий Роман Абрамович, Хомич Александр Владимирович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.793.162. с помощью химических реакций. Эпитаксиальные пленки
Для цитирования:
БОЛЬШАКОВ А. П., РАЛЬЧЕНКО В. Г., ПОЛЬСКИЙ А. В., КОНОВ В. И., АШКИНАЗИ Е. Е., ХОМИЧ А. А., ЗАВЕДЕЕВ Е. В., СОВЫК Д. Н., ШАРОНОВ Г. В., ХМЕЛЬНИЦКИЙ Р. А., ХОМИЧ А. В. СИНТЕЗ МОНОКРИСТАЛЛОВ АЛМАЗА В СВЧ-ПЛАЗМЕ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2011. №6
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.