Статья: ПЛАЗМЕННАЯ ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛОКСАНА (1995)

Читать онлайн

Исследован процесс осаждения плазменно-полимеризованных пленок на основе гексаметилдисилоксана в ВЧ-разряде. Методом лазерной интерферометрии измерены скорости осаждения полимера на различных подложках. Изучены ИК-спектры, элементный состав и гидрофильные свойства получаемых пленок

R. f. plasma have bееn used for polymeric film deposition from hexamethyl­disiloxane. Film deposition rates оn various substrates have been measured bу laser interference method. IR-spectra, composition and wettability оf films obtained have been studied

Автор (ы): Соколова Ю. А. (Sokolova YU. A.), Соколов В. Ф.
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
53. Физика
Для цитирования:
СОКОЛОВА Ю. А., СОКОЛОВ В. Ф. ПЛАЗМЕННАЯ ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛОКСАНА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 1995. №3-4