Архив статей

ПЛАЗМЕННАЯ ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛОКСАНА (1995)

Исследован процесс осаждения плазменно-полимеризованных пленок на основе гексаметилдисилоксана в ВЧ-разряде. Методом лазерной интерферометрии измерены скорости осаждения полимера на различных подложках. Изучены ИК-спектры, элементный состав и гидрофильные свойства получаемых пленок