Статья: Методы повышения надежности гибридизации кристаллов (2015)

Читать онлайн

При создании фотоприемных устройств УФ- и ИК-диапазонов используются кристаллы, изготовленные из разных материалов. Гибридизация разнородных подложек осуществляется методом перевернутого кристалла с помощью сформированных на каждом кристалле индиевых микроконтактов. Рассмотрены методы гибридизации кристаллов с разной формой индиевых микроконтактов. Исследовано влияние формы микроконтактов на надежность гибридизации кристаллов.

Crystals made of different materials are used in creation of the UV and IR photodetectors. Hybridization of heterogeneous substrates is carried out by using a flip-chip method by means of indium microcontacts to be formed on each crystal. Consideration is given to the methods of hybridization of crystals with different forms of indium microcontacts. Influence of a form of microcontacts on the reliability of crystal hybridization has been investigated.

Ключевые фразы: индиевые микроконтакты, гибридизация, стыковка, метод перевернутого монтажа
Автор (ы): Акимов Владимир Михайлович (Akimov V. M.), Болтарь Константин Олегович, Васильева Лариса Александровна, Иродов Никита Александрович, Климанов Евгений Алексеевич
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
eLIBRARY ID
23608587
Для цитирования:
АКИМОВ В. М., БОЛТАРЬ К., ВАСИЛЬЕВА Л. А., ИРОДОВ Н. А., КЛИМАНОВ Е. А. МЕТОДЫ ПОВЫШЕНИЯ НАДЕЖНОСТИ ГИБРИДИЗАЦИИ КРИСТАЛЛОВ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2015. ТОМ 3, №3
Текстовый фрагмент статьи