При создании фотоприемных устройств УФ- и ИК-диапазонов используются кристаллы, изготовленные из разных материалов. Гибридизация разнородных подложек осуществляется методом перевернутого кристалла с помощью сформированных на каждом кристалле индиевых микроконтактов. Рассмотрены методы гибридизации кристаллов с разной формой индиевых микроконтактов. Исследовано влияние формы микроконтактов на надежность гибридизации кристаллов.
Crystals made of different materials are used in creation of the UV and IR photodetectors. Hybridization of heterogeneous substrates is carried out by using a flip-chip method by means of indium microcontacts to be formed on each crystal. Consideration is given to the methods of hybridization of crystals with different forms of indium microcontacts. Influence of a form of microcontacts on the reliability of crystal hybridization has been investigated.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 23608587
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.