Архив статей

Методы повышения надежности гибридизации кристаллов (2015)
Выпуск: Том 3, №3 (2015)
Авторы: Акимов В. М., Болтарь К., Васильева Л. А., Иродов Н. А., Климанов Е. А.

При создании фотоприемных устройств УФ- и ИК-диапазонов используются кристаллы, изготовленные из разных материалов. Гибридизация разнородных подложек осуществляется методом перевернутого кристалла с помощью сформированных на каждом кристалле индиевых микроконтактов. Рассмотрены методы гибридизации кристаллов с разной формой индиевых микроконтактов. Исследовано влияние формы микроконтактов на надежность гибридизации кристаллов.

Сохранить в закладках