Статья: Ограничения стандартных подходов при изготовлении широкоформатных охлаждаемых фотоприемных устройств следующих поколений на основе HgCdTe (2026)

Читать онлайн

Проведён анализ основных сдерживающих факторов увеличения формата охлаждаемых гибридных фотоприёмных устройств (ФПУ). Таких как не плоские формы поверхностей кремниевых мультиплексоров (БИС) и массива фоточувствительных элементов (ФЧЭ), и их разное изменение размеров при охлаждении ФПУ до рабочих температур. Рассмотрено влияния уровня развития технологии изготовления БИС и ФЧЭ, а так же оптической системы ФПУ на увеличения его формата. Выяснено, что основными сдерживающими факторами увеличения формата охлаждаемых ФПУ на основе HgCdTe являются разное изменение размеров БИС и ФЧЭ при охлаждении ФПУ до рабочих температур и наиболее значимым не плоские формы поверхностей БИС и ФЧЭ. Предложено решение увеличения формата охлаждаемых фотоприёмников использованием нескольких БИС и ФЧЭ меньшей площади, установленных в стык друг к другу, что снимает выявленные ограничения при изготовлении широкоформатных охлаждаемых фотоприёмников.

The analysis of the main constraining factors of increasing the format of cooled hybrid photodetectors (PDs) is considered: a decrease in the percentage of usable PDs with an increase in the size of read-out integrated circuit (ROIC) and an array of photosensitive elements (PSEs); different changes in the size of ROIC and PCEs when the PDs is cooled to operating temperatures; non-flat shapes of the surfaces of ROIC and PCEs; and the optical system a device based on PDs. It was found that the main constraining factors for increasing the format of cooled HgCdTe-based PDs are different changes in the size of the ROIC and PCEs when the PDs are cooled to operating temperatures, and the most significant are the non-flat shapes of the ROIC and PCEs surfaces. A solution has been proposed to increase the format of cooled hybrid photodetectors by using several smaller ROICs and PCEs installed adjacent to each other, which removes the identified limitations in the manufacture of large-format cooled photodetectors.

Ключевые фразы: охлаждаемые ик фотоприёмные устройства, форма поверхности приборных пластин, термоциклирование, оптическая система
Автор (ы): Новоселов Андрей Рудольфович (Novoselov A. R.), Алдохин Павел Алексеевич, Шатунов Константин Павлович
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
681.786. Приборы для измерения геометрических величин
681.787. Интерферометрические приборы
Для цитирования:
НОВОСЕЛОВ А. Р., АЛДОХИН П. А., ШАТУНОВ К. П. ОГРАНИЧЕНИЯ СТАНДАРТНЫХ ПОДХОДОВ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ШИРОКОФОРМАТНЫХ ОХЛАЖДАЕМЫХ ФОТОПРИЕМНЫХ УСТРОЙСТВ СЛЕДУЮЩИХ ПОКОЛЕНИЙ НА ОСНОВЕ HGCDTE // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2026. ТОМ 14, №1
Текстовый фрагмент статьи