Статья: Повышение качества 100 мм Ge-подложек при серийном производстве многопереходных фотоэлектрических преобразователей (2026)

Читать онлайн

Проведены исследования отечественных Ge-подложек диаметром 100 мм и толщиной 140 мкм, что позволило по результатам скорректировать технологический производственный процесс и привело к увеличению эффективности фотопреобразования серийно изготавливаемых с применением метода МОС-гидридной эпитаксии каскадных солнечных элементов GaInP/GaAs/Ge – достигнутый КПД составляет 29 %, что находится на уровне мировых аналогов.

Being a strategic material, germanium finds its application in various high-tech fields, one of which is the production of cascade photovoltaic converters based on A3B5/Ge com-pounds for solar cells of space-based applications, where Ge is used as a substrate and at the same time serves as a narrow-gap subcell. The energy efficiency of such photocon-verters manufactured using the MOCVD method is determined, among other things, by the quality of preparation of the substrate material: crystalline perfection, geometric character-istics, surface roughness and degree of purity of Ge wafers. Improving the listed parameters has a positive effect on obtaining high-quality epitaxial layers and the yield of suitable products. This work is devoted to the research carried out Ge substrates with a diameter of 100 mm and a thickness of 140 microns, which made it possible to adjust the technolo- gical production process based on the results and led to an increase in the efficiency of photoconversion of mass-produced materials using the MOCVD method of cascade solar cells GaInP/GaAs/Ge, achieving an efficiency of 29 %, which corresponds to the world level.

Ключевые фразы: подложки ge, шероховатость поверхности, дефекты поверхности, Солнечные элементы
Автор (ы): Кулаковская Татьяна Владимировна, Топаков Дмитрий Валерьевич, Трофимов Александр Александрович, Косякова Анастасия Михайловна, Гончаров Андрей Евгеньевич, Малыгин Владислав Анатольевич, Гладышева Кристина Анатольевна, Антонова Валерия Евгеньевна , Суханова Анна Сергеевна
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.592. Полупроводники
Для цитирования:
КУЛАКОВСКАЯ Т. В., ТОПАКОВ Д. В., ТРОФИМОВ А. А., КОСЯКОВА А. М., ГОНЧАРОВ А. Е., МАЛЫГИН В. А., ГЛАДЫШЕВА К. А., АНТОНОВА В. Е., СУХАНОВА А. С. ПОВЫШЕНИЕ КАЧЕСТВА 100 ММ GE-ПОДЛОЖЕК ПРИ СЕРИЙНОМ ПРОИЗВОДСТВЕ МНОГОПЕРЕХОДНЫХ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2026. ТОМ 14, №1
Текстовый фрагмент статьи