Статья: Параметры и варианты построения устройства формирования мишени для генерации излучения в рентгеновском спектральном диапазоне (2026)

Читать онлайн

Для увеличения плотности элементов микросхем при фотолитографии предложе-но использовать лазерно-плазменные источники при оптическом пробое. Наивыс-шая эффективность генерации излучения в рентгеновском диапазоне на длине вол-ны 6,7 нм достигается при использовании плазмы тугоплавких редкоземельных элементов гадолиния и иттербия в газовой фазе. Рассматриваются основные па-раметры и варианты построения устройства формирования мишени для оптическо-го пробоя на основе аналога – электродугового источника плазмы на парах щелочно-го металла. Проведено исследование требований к устройству: выполнены термо- и газодинамические расчеты и оценки. В качестве нагревателя предложено исполь-зовать нагрев генератором электронного пучка на основе открытого разряда в бу-ферном газе. Выполнены расчеты длины пробега электронов и плотности энерго-выделения в плазме. Приведены оценки энергетической эффективности создания мишени при нагреве устройства пучком электронов.

To increase the density of chip elements during photolithography, it is proposed to use laser-plasma sources during optical breakdown. The highest efficiency of generating radiation in the X-ray range at a wavelength of 6.7 nm is achieved by using plasma of refractory rare-earth elements such as gadolinium and terbium in the gas phase. The article discusses the main parameters and options for constructing a target formation device for optical break-down based on an analogue, an electric arc plasma source using alkali metal vapor. A study of the device requirements was conducted, and thermo- and gas-dynamic calculations and assessments were performed. It was proposed to use an electron beam generator based on an open discharge in a buffer gas as a heater. Calculations were performed for the electron path length and energy density. Estimates were made of the energy efficiency of creating a target by heating the device with an electron beam.

Ключевые фразы: рентгеновская литография, устройство формирования мишени, лазерно-плазменные источники, ОПТИЧЕСКИЙ ПРОБОЙ, электродуговые источники плазмы, плазматрон, генераторы электронных пучков, открытый разряд, УБЕГАЮЩИЕ ЭЛЕКТРОНЫ, параметры потока, плотность энерговыделения, ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ, длина пробега электронов
Автор (ы): Шлойдо Андрей Игоревич (SHloydo A. I.), Туркин Алексей Васильевич, Саркаров Ниджеф Экбербубаевич, Михайлов Александр Дмитриевич, Чернов Дмитрий Олегович, Иванов Владимир Витальевич, Кривцун Владимир Михайлович, Гаязов Роберт Рафилевич
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы
Для цитирования:
ШЛОЙДО А. И., ТУРКИН А. В., САРКАРОВ Н. Э., МИХАЙЛОВ А. Д., ЧЕРНОВ Д. О., ИВАНОВ В. В., КРИВЦУН В. М., ГАЯЗОВ Р. Р. ПАРАМЕТРЫ И ВАРИАНТЫ ПОСТРОЕНИЯ УСТРОЙСТВА ФОРМИРОВАНИЯ МИШЕНИ ДЛЯ ГЕНЕРАЦИИ ИЗЛУЧЕНИЯ В РЕНТГЕНОВСКОМ СПЕКТРАЛЬНОМ ДИАПАЗОНЕ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2026. ТОМ 14, №1
Текстовый фрагмент статьи