Статья: Исследование параметров плазмы «геликонного» разряда в макете ВЧ гибридной плазменной системы (2015)

Читать онлайн

В работе представлены результаты экспериментального исследования параметров плазмы «геликонного» разряда в макете ВЧ гибридной плазменной системы, оснащенном соленоидальной антенной. Показано, что с ростом величины внешнего магнитного поля происходит формирование плазменного «столба» и смещение максимальных значений ионного тока по оси разряда в сторону нижнего фланцу макета. Изменение конфигурации магнитного поля позволяет управлять формой плазменного столба.

This paper represents the results of “Helicon” discharge plasma parameters experimental studies conducted in the layout of the hybrid RF plasma system, equipped with a solenoidal antenna. The last is inspired by the idea of using helicon discharge for ion assistance in combination with RF magnetron or arc discharge for film growth stimulation. With increasing an external magnetic field, a plasma “pillar” is shaped and also an ion current on-the-axis maximum values displacement takes place in the direction of the lower flange. Changing the configuration of the magnetic field allows to control a shape of the plasma column.

Ключевые фразы: индуктивный, высокочастотный, разряд, плазма, зондовый ионный ток, МАГНИТНОЕ ПОЛЕ, геликон, косая ленгмюровская волна
Автор (ы): Александров Андрей Фёдорович, Петров Александр Кириллович, Вавилин Константин Викторович, Кралькина Елена Александровна, Неклюдова Полина Алексеевна, Никонов Александр Михайлович, Павлов Владимир Борисович, Айрапетов Александр Арменакович, Одиноков Вадим Васильевич, Сологуб Владимир Антонович, Павлов Георгий Яковлевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525.99. Прочие виды разрядов в газах при пониженном давлении
eLIBRARY ID
23649664
Для цитирования:
АЛЕКСАНДРОВ А. Ф., ПЕТРОВ А. К., ВАВИЛИН К. В., КРАЛЬКИНА Е. А., НЕКЛЮДОВА П. А., НИКОНОВ А. М., ПАВЛОВ В. Б., АЙРАПЕТОВ А. А., ОДИНОКОВ В. В., СОЛОГУБ В. А., ПАВЛОВ Г. Я. ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ «ГЕЛИКОННОГО» РАЗРЯДА В МАКЕТЕ ВЧ ГИБРИДНОЙ ПЛАЗМЕННОЙ СИСТЕМЫ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2015. №3
Текстовый фрагмент статьи