Статья: Исследование индиевых столбчатых контактов при помощи электронной микроскопии (2015)

Читать онлайн

Исследованы индиевые столбчатые микроконтакты для гибридных матричных фотоприемных устройств (МФПУ) инфракрасного диапазона, состоящих из матрицы фоточувствительных элементов и кремниевого мультиплексора, состыкованных между собой. Показано, что индиевые столбики высотой 12 микрометров и более могут быть получены посредством последовательного проведения стандартных операций фотолитографии и химического травления, имеют шероховатость порядка 1 мкм и могут использоваться для операции стыковки в процессе изготовления МФПУ.

Consideration is given to fabrication of the indium columnar microcontacts for hybrid FPAs of the IR range. It is shown that the 12-μm columns can be made by means of photolithography and chemical etching. They have the 1-μm roughness.

Ключевые фразы: фотолитография, матричный фотоприемник, индиевые столбики, КРТ
Автор (ы): Головин Сергей Вадимович, Мезин Юрий Сергеевич, Седнев Михаил Васильевич, Еремчук Анатолий Иванович, Корнеева Марина Дамировна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
Для цитирования:
ГОЛОВИН С. В., МЕЗИН Ю. С., СЕДНЕВ М. В., ЕРЕМЧУК А. И., КОРНЕЕВА М. Д. ИССЛЕДОВАНИЕ ИНДИЕВЫХ СТОЛБЧАТЫХ КОНТАКТОВ ПРИ ПОМОЩИ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2015. №3
Текстовый фрагмент статьи