Настоящая работа посвящена численному и экспериментальному исследованию влияния элементов конструкции энергоанализатора на разрешающую способность прибора при измерении функции распределения ионов по энергии, ускоренных в приэлектродном слое высокочастотного емкостного разряда. С помощью трехмерного численного моделирования движения заряженных частиц показано, что аппаратная функция прибора сильно зависит от взаимной ориентации ячеек сеток. Показано, что уширение энергетического спектра заряженных частиц в энергоанализаторе в большой мере зависит от величины провисания потенциала в ячейках анализирующей сетки. Приведены формулы для количественной оценки уширения энергетического спектра заряженных частиц для энергоанализаторов, в которых используются сетки с квадратными или шестиугольными ячейками.
Consideration is given to numerical and experimental studies of the effect of energy analyzer design elements on the resolving power of the device for measurements of energy distribution function of ions from capacitively coupled rf discharge. It has been demonstrated using three-dimensional numerical simulations of charged particles movement inside the energy analyzer that the instrument function of the device strongly depends on the mutual orientation of the grids cells. It has been shown that the broadening of charged particles energy spectrum in energy analyzer mostly depends on the magnitude of the potential sagging inside cells of the analyzing grid. Formulas for quantitative estimate of the broadening of charged particles energy spectrum for retarding field energy analyzers using meshes with square or hexagonal cells are given.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 32265833