Статья: Метод частичного подавления спекл-структуры при интерферометрическом контроле микронеровностей шлифованных оптических поверхностей (2017)

Читать онлайн

Исследуются статистические характеристики электромагнитного поля, рассеянного контролируемыми шероховатыми (на стадиях шлифования) оптическими поверхностями, имеющими различный уровень среднего квадратичного отклонения (СКО) –  от заданного (эталонного) профиля на различных стадиях технологической обработки. Получены и проанализированы аналитические выражения для контраста регистрируемых интерферограмм и спекл-структуры от характерного отношения контролируемой величины  в соотношении с длиной волны интерферометрического контроля – . Предлагается метод частичного подавления спекл-структуры в регистрируемых изображениях, основанный на использовании пространственной фильтрации и операции усреднения по ансамблю сечений, проходящих через энергетический центр тяжести отфильтрованных изображений. Приводятся результаты экспериментальных исследований макетного образца лазерного инфракрасного (ИК) интерферометра, построенного по модифицированной функциональной схеме Тваймана–Грина, с рабочей длиной волны излучения  = 10,6 мкм и формулируются рекомендации по выбору его элементной базы.

Consideration is given to the statistical characteristics of the electromagnetic field scattered by controlled rough surfaces (at grinding stages) by optical surfaces having different levels of the standard root-mean square (RMS) –  from the given (reference) profile at different stages of technological processing. Analytic expressions for the contrast of the recorded interferogramms and specklepattern from the characteristic ratio of the controlled quantity in relation to the wavelength  of the interferometric control are obtained and analyzed analytically. A method of partial suppression of the speckle-pattern in the recorded images is proposed. The method is based on the use of spatial filtration and the operation of averaging over the ensemble of sections passing through the energy center of gravity of the filtered images. The results of experimental studies of a model sample of a laser infrared (IR) interferometer constructed using the modified Twyman–Green functional scheme with a working radiation wavelength of  = 10.6 μm are presente. The recommendations on the choice of its element base are formulated.

Ключевые фразы: шероховатая оптическая поверхность, неравноплечий интерферометр тваймана–грина, модель фазового экрана, статистические характеристики спекл-струткры, контраст интерференционной картины, контраст спекл-структуры, цифровая фильтрация изображения
Автор (ы): Денисов Дмитрий Геннадьевич
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.4. Интерференция. Дифракция. Дифракционное рассеяние
681.787. Интерферометрические приборы
681.7.02. Процессы получения и обработки оптических деталей
eLIBRARY ID
30487439
Для цитирования:
ДЕНИСОВ Д. Г. МЕТОД ЧАСТИЧНОГО ПОДАВЛЕНИЯ СПЕКЛ-СТРУКТУРЫ ПРИ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ МИКРОНЕРОВНОСТЕЙ ШЛИФОВАННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2017. ТОМ 5, №5
Текстовый фрагмент статьи