Представлено обсуждение новой формы разряда, возбуждаемого пучком микроволн в газах высокого (вплоть до атмосферного и выше) давления как в свободном пространстве, так и в замкнутой камере. Впервые для осуществления такого разряда использовался мощный гиротрон с параметрами импульсного излучения: мощность импульса 200 P 600 кВт, длительность импульса 0,5 мс 20 мс и длина волны = 0,4 см. В глубоко подпороговых условиях в свободном пространстве в воздухе атмосферного давления плазменный столб длиной L = 50 см возбуждался микроволновым пучком, формируемым квазиоптической системой зеркал. При применении гиротрона с указанными параметрами принципиально возможна генерация плазменного столба, достигающего нескольких метров в длину. Исследованы параметры и структура плазменного образования, позволяющие отнести его к категории открытого и ранее описанного в ИОФ РАН СНС самоподдерживающегося– несамостоятельного разряда. В качестве одного из возможных актуальных приложений разряда рассматривается плазмохимическая очистка городской воздушной среды от экологически опасных примесей.
A new form of discharge excited by microwave beam in the high-pressure (up to atmospheric one and higher) gas in the free space and in a closed chamber is under discussion. For the first time, a discharge realization has been ensured by the gyrotron with a pulse radiation having such parameters as the pulse power 200 Pi 600 kW, pulse duration 0.5 20 ms and wavelength = 0.4 sm. At the deeply subthreshold conditions in an atmospheric pressure, the air plasma column having as high length as L 50 sm has been generated by the use of microwave beam formatted with help of quasi-optical transmission line. In the application of the MIG-3 GYROTRON complex with indicated parameters, the generation of the plasma column reaching several meters in length could be realized in principle. Parameters and structure of investigated plasma formations are allowing to relate it to the category of open-described in the GPI SNSS (self-nonself-sustained) discharge. One of the important applications of this discharge is plasma-chemical cleaning the urban air environment from environmentally hazardous contaminants.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- УДК
- 537.527.9. Прочие виды разрядов в газах при повышенном давлении
537.563.5. Ионизация светом. Фотоионизация - eLIBRARY ID
- 30487433
Как следует из последних выполненных в ИОФ РАН экспериментов, область реализации новой формы глубокого подпорогового самоподдерживающегося-несамостоятельного (СНС) разряда значительно расширена. Впервые возбуждение такого разряда при давлении газа порядка (и выше) атмосферного было продемонстрировано в свободном пространстве атмосферного воздуха, а также в замкнутой цилиндрической камере, заполненной разными газами.
Впервые СНС-разряд был создан миллиметровыми микроволновыми пучками с высокой импульсной мощностью 600 кВт. Разряд впервые инициирован в любом поперечном сечении пучка с помощью специально изготовленной конструкции, состоящей из металлических тонких нитей. В этом случае инициирование разряда, а также его поддержание в виде аксиально распространяющейся волны ионизации осуществлялось с помощью только одной микроволновой энергии.
Параметры разряда не противоречат предсказаниями физической модели, рассматривающей СНС-разряд как чередование последовательных переходов несамостоятельных и самоподдерживающихся разрядов через возбуждение и развитие ионизационно-перегревающей неустойчивости.
Был применен гиротрон, способный генерировать в импульсно-периодическом режиме микроволновое излучение со средней мощностью, достигающей нескольких сотен кВт (при пиковой мощности импульса 600 кВт). Относительно простое введение этого микроволнового излучения в цилиндрический реактор, также как и высокий эффективный вклад микроволновой энергии в глубоко подпороговый разряд и через него в газовую среду позволяют сделать вывод о целесообразности создания плазмохимического реактора на основе гиротрона и СНС-разряда, который мог бы удовлетворить современные требования промышленности в отношении производительности различных химических технологий. Например, для конверсии метана в синтез-газ, утилизации CO2, очистки промышленных газовых отходов и т. д.
Список литературы
1. Kossyi I. A., Gritsinin S. I., Davydov A. M. / 8th Int. Workshop Microwave Discharges: Fundamentals and Applications Book of Abstracts Zvenigorod, Russia, (STC “PLAZMAIOFAN”). 2012. P. 39.
2. Kossyi I. A. / Proc. 8th Int. Workshop “Strong Microwaves and Terahertz Waves Sources and Applications N. Novgorod - St. Petersburg, Russia (Institute of Applied Physics RAS). 2011. P. 25.
3. Batanov G. V., Gritsinin S. I., Kossyi I. A., Magunov A. N., Silakov V. P., Tarasova N. M. In Book: Plasma Physics and Plasma Electronics, Ed. L M Kovrizhnykh (Nova Science Publishers, Commack., 1985). P. 241-82.
4. Batanov G. M., Gritsinin S. I., Kossyi I. A. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2002. 35. P. 2687.
5. Kossyi I. A. / 44th AIAA Aerospace Sciences Meeting and Exhibit Reno Nevada Report AIAA-1457. 2006.
6. Kossyi I. A., Batanov G. M., Berezhetskaya N. K., Davydov A. M., Sarksjan K. A., Harchev N. K. / Physical Basis and Plasma-Chemical Application HAKONE 15th High pressure low temperature plasma Chemistry Simposium Brno Czech Republic Book 0f Abstract (Masaryk University). 2016.
7. Бровкин В. Г., Быков Д. Ф., Голбев С. К. и др. // ЖТФ. 1991. Т. 61. С. 153.
8. Бархударов Э. М., Бережецкая Н. К., Большаков Е. Ф., Елецкий А. В., Коссый И. А., Тактакишвили М. И. // ЖТФ. 1984. Т. 54. С. 1219.
9. Gritsinin S. I., Kossyi I. A., Silakov V. P., Tarasova N. M., Terekhin V. E. Preprint of IOFAN. No. 14. 1986.
10. Raizer Yu. P. Gas Discharge Physics (Nauka: Moscow, 1987, Springer-Verlag: Berlin, 1991). EDN: TTDTSL
11. Kossyi I. A., Batanov G. M., Berezhetskaya N. K., Davydov A. M., Sarksjan K. A., Harchev N. K. / 43rd Conference on Plasma Physics EPS-2016 Proc Leuven, Belgium. (EPS). 2016. P. 1-4.
12. Артемов В. И., Левитин Ю. С., Синкевич О. А. Неустойчивость и турбулентность в низкотемпературной плазме. - М.: Московский энергетический институт. 1994.
13. Ким А. В., Фрайман Г. М. // Физика плазмы. 1983. №. 9. С. 613.
14. Аветисов В. Г., Грицинин С. И., Ким А. В.и др. // Письма в ЖЭТФ. 1990. Т. 51. С. 306.
15. Батанов Г. М., Белоусов В. И., Бондарь Ю. Ф., Борзюсеков В. Д. и др. // Прикладная физика. 2012. № 6. С. 79. EDN: PJQLZX
16. Батанов Г.М., Колик Л. В., Курбатов В. И., Петров А. Е., Сапожников А. В., Сарксян К. А, Шатц М. Г. // Физика плазмы. 1986. № 12. C. 762.
17. Аскарьян Г. А., Батанов Г. М., Бархударов А.Е., Грицинин С. И., Корчагина Е. Г., Коссый И. А., Силаков В. П., Тарасова Н. М. // Физика плазмы. 1992. Т. 18. С. 1198.
18. Gritsinin S. I., Knyazev V. Yu., Kossyi I. A., Popov N. A. // Plasma Physics Reports. 2006. Vol. 32. P. 520.
19. Gritsinin S. I., Gushchin P. A., Davydov A. M., Ivanov E. V., Kossyi I. A., Misakyan M. A. // Plasma Physics Reports. 2009. Vol. 35. P. 933.
20. Parkhomenko Yu. N., Polisan A. A., Skryleva E. A., Tabachkova N. Yu., Shul’ga N. Yu., Davydov A. M., Kossyi I. A., Duyzhikov I. N., Pokalyakin V. T. // Russian Microelectronics. 2012. Vol. 41. P. 491. EDN: RGMZLD
21. Potapkin B. V. et al., Program “Chemical Work Bench (Kinetic Technologies (KINTECH))”. 1998-2000.
22. Batanov G. M., Kossyi I. A., Silakov V. P. // Plasma Physics Reports. 2002. Vol. 28. P. 204.
23. Askaryan G. A., Batanov G. M., Kossyi I. A., Kostinskii A. Yu. / 1992 ISPP-10 (Piero Caldirola), High Power Microwave Generation and Applications Eds E. Sindoni and C. Wharton, SIF, Bologna (Editrice Compositori, 1992). P. 207.
24. Askaryan G. A., Batanov G. M., Bykov D. F., Gritsinin S. I., Kossyi I. A., Kostinskii A. Yu., Matveyev A. A., Silakov V. P. / ISPP-7 “Piero Caldirola”, Controlled Active Global Experiments (CAGE). Eds E. Sindoni and A. Y. Wong SIF, Bologna, (Editrice Compositori, 1991). P. 239.
1. I. A. Kossyi, S. I. Gritsinin, and A. M. Davydov, in Book of Abstracts: 2012 8th Int. Workshop Microwave Discharges: Fundamentals and Applications (Zvenigorod, Russia, STC “PLAZMAIOFAN”). P. 39.
2. I. A. Kossy, in Proc. 8th Int. Workshop “Strong Microwaves and Terahertz Waves Sources and Applications (N. Novgorod – St. Petersburg, Russia, Institute of Applied Physics RAS, 2011). P. 25.
3. G. V. Batanov, S. I. Gritsinin, I. A. Kossyi, A. N. Magunov, V. P. Silakov, and N. M. Tarasova, in Book: Plasma Physics and Plasma Electronics, Ed. L M. Kovrizhnykh (Nova Science Publishers, Commack, 1985). P. 241.
4. G. M. Batanov, S. I. Gritsinin, and I. A. Kossyi, J. Phys. D: Appl. Phys. 35, 2687 (2002).
5. I. A. Kossyi, in 44th AIAA Aerospace Sciences Meeting and Exhibit Reno (Nevada, 2006) Report AIAA-1457.
6. I. A. Kossyi, G. M. Batanov, N. K. Berezhetskaya, A. M. Davydov, K. A. Sarksjan, and N. K. Harchev, in Book of Abstracts: Physical Basis and Plasma–Chemical Application HAKONE; 15th High pressure low temperature plasma Chemistry Simposium (Masaryk University, Brno, Czech Republic, 2016).
7. V. G. Brovkin, D. F. Bykov, S. K. Golubev, et al., Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki, 61, 153 (1991).
8. E. M. Barkhudarov, N. K. Berezhetskaya, E. F. Bol’shakov, A. V. Eletskii, I. A. Kossyi, and M. I. Taktakishvili, Zhurnal Tekkhnicheskoi Fiziki, 54, 1219 (1984).
9. S. I. Gritsinin, I. A. Kossyi, V. P. Silakov, N. M. Tarasova, and V. E. Terekhin, Preprint of IOFAN, No. 14 (1986) [in Russian].
10. Yu. P. Raizer, Gas Discharge Physics (Springer-Verlag: Berlin, 1991; Nauka: Moscow, 1987).
11. I. A. Kossyi, G. M. Batanov, N. K. Berezhetskaya, A. M. Davydov, K. A. Sarksjan, and N. K. Harchev, in Proc. 43rd Conference on Plasma Physics EPS-2016 (Leuven, Belgium, 2016). P. 1.
12. V. I. Artemov, Yu. S. Levitin, and O. A. Sinkevich, Instability and Turbulence of Low-Temperature Plasma (Moscow, Moscow Energetic Institute, 1994) [in Russian].
13. A. V. Kim and G. M. Frayman, Fizika Plazmy, 9, 613 (1983).
14. V. G. Avetisov, S. I. Gritsinin, A. V. Kim, et al., Pis’ma v Zhurnal Eksperimental’noi i Tekhnicheskoi Fiziki 51, 306 (1990).
15. G. M. Batanov, V. I. Belousov, Yu. F., Bondar’, V. D. Borzosekov et al. Prikl. Fiz., No. 6, 79 (2012).
16. G. M. Batanov, L. V. Kolik, V. I. Kurbatov, A. E. Petrov, A. V. Sapozhnikov, K. A. Sarksyan, and M. G. Shatz, Fizika Plazmy, 12, 762 (1986).
17. G. A. Askar’yan, G. M. Batanov, A. E. Barkhudarov, S. I. Gritsinin, E. G. Korchagina, I. A. Kossyi, V. P. Silakov, and N. M. Tarasova, Fizika Plazmy 18, 1198 (1992).
18. S. I. Gritsinin, V. Yu. Knyazev, I. A. Kossyi, and N. A. Popov, Plasma Physics Reports 32, 520 (2006).
19. S. I. Gritsinin, P. A. Gushchin, A. M. Davydov, E. V. Ivanov, I. A. Kossyi, and M. A. Misakyan, Plasma Physics Reports 35, 933 (2009).
20. Yu. N. Parkhomenko, A. A. Polisan, E. A. Skryleva, N. Yu. Tabachkova, N. Yu. Shul’ga, A. M. Davydov, I. A. Kossyi, I. N. Duyzhikov, and V. T. Pokalyakin, Russian Microelectronics 41, 491 (2012).
21. B. V. Potapkin et al. Program “Chemical Work Bench (Kinetic Technologies (KINTECH))” (1998–2000).
22. G. M. Batanov, I. A. Kossyi, and V. P. Silakov, Plasma Physics Reports 28, 204 (2002).
23. G. A. Askaryan, G. M. Batanov, I. A. Kossyi, and A. Yu. Kostinskii, in Proc. High Power Microwave Generation and Applications, ISPP-10, Piero Caldirola, (Bologna, Editrice Compositori, 1992). P. 207.
24. G. A. Askaryan, G. M. Batanov, D. F. Bykov, S. I. Gritsinin, I. A. Kossyi, A. Yu. Kostinskii, A. A. Matveyev, and V. P. Silakov, Controlled Active Global Experiments (CAGE). ISPP-7 “Piero Caldirola”, (Bologna, Editrice Compositori, 1991). P. 239.
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Артемьев К. В., Батанов Г. М., Бережецкая Н. К., Давыдов А. М., Коссый И. А., Нефедов В. И., Сарксьян К. А., Харчев Н. К. Подпороговый разряд высокого давления, возбуждаемый пучком микроволн: физические основы и приложения 429
Золотухин Д. Б., Бурдовицин В. А., Тюньков А. В., Юшков Ю. Г., Окс Е. М., Голосов Д. А., Завадский С. М. Реактивные методы осаждения пленок оксидов титана (обзор) 442
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Холоднов В. А., Бурлаков И. Д. К вопросу оптимизации параметров двойной гетероструктуры на основе прямозонных полупроводников для лавинных фотодиодов 453
Артамонов А. В., Астахов В. П., Гиндин П. Д., Евстафьева Н. И., Карпов В. В., Соловьёва Г. С., Степанюк В. Е. Фотонный отжиг при изготовлении планарных фотодиодов из антимонида индия 459
Козлов К. В., Стрельцов В. А., Патрашин А. И., Косых В. П., Громилин Г. И. Аналитический метод оценки параметров инфракрасного многорядного фотоприемного устройства 466
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ
Денисов Д. Г. Метод частичного подавления спекл-структуры при интерферометрическом контроле микронеровностей шлифованных оптических поверхностей 481
Гибин И. С., Котляр П. Е. Гибридные автоэмиссионные фотокатоды (обзор) 497
Наумов Н. Д. Оптимизированный метод расчета рупорной антенны 508
ИНФОРМАЦИЯ
XLV Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу 514
Правила для авторов 517
Подписка на электронную версию журнала 520
C O N T E N T S
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
K. V. Artem’ev, G. M. Batanov, N. K. Berezhetskaya, A. M. Davydov, I. A. Kossyi, V. I. Nefedov, K. A. Sarksyan, and N. K. Kharchev Subthreshold high-pressure discharge excited by a microwave beam: the physical basics and applications 429
D. B. Zolotukhin, V. A. Burdovitsin, A. V. Tyunkov, Yu. G. Yushkov, E. M. Oks, D. A. Golosov, and S. M. Zavadskiy Reactive methods for titanium oxides thin films deposition (a review) 442
PHOTOELECTRONICS
V. A. Kholodnov and I. D. Burlakov To the question of optimization of parameters of double het-ero-structure on the basis of direct gap semiconductors for avalanche photodiodes 453
A. V. Artamonov, V. P. Astakhov, P. D. Gindin, N. I. Evstaf’eva, V. V. Karpov, G. S. Solovyova, and V. E. Stepanyuk Photon annealing at planar photodiodes from indium antimony manufacture 459
K. V. Kozlov, V. A. Streltsov, A. I. Patrashin, V. P. Kosykh, and G. I. Gromilin Analytical meth-od for evaluation of the IR multirow photodetector parameters 466
PHYSICAL EQUIPMENT AND ITS ELEMENTS
D. G. Denisov Method of partial suppression of a speckle-pattern at the interferometric control of polished optical surfaces microroughness 481
I. S. Gibin and P. E. Kotlyar Hybrid autoemission photocathodes (a review) 497
N. D. Naumov Optimized method of calculation of the horn antenna 508
INFORMATION
XLV International Zvenigorod Conference on Plasma Physics and Controlled Thernomuclear Fusion 514
Rules for authors 517
Subscription to an electronic version of the journal 520
Другие статьи выпуска
Для коэффициента направленного действия и диаграммы направленности пирамидального и секториальных рупоров получены удобные для практических расчетов выражения в виде совокупности тригонометрических и рациональных функций. Коэффициент использования поверхности раскрыва рупорной антенны в определенной области изменения параметра, который является комбинацией размеров рупора и длины волны, представлен в виде квадратичной зависимости от этого параметра. Для оптимальной рупорной антенны найдена простая формула оценки ширины диаграммы направленности по половинной мощности. Для плотности потока энергии рупорной антенны в параксиальной области ближней зоны получено аналитическое выражение, применимое на расстоянии от апертуры z 1,6 a2 b2, где a, b – размеры рупора.
Приведен обзор развития фотоэлектронных эффектов и их применения в электроннооптических преобразователях изображений. Выполнен анализ технических характеристик известных фотокатодов, таких как щелочно-земельные, мультищелочные, фотокатоды с отрицательным электронным сродством и гибридные автоэмиссионные катоды. Показано, что современные автоэмиссионные катоды обладают уникальными эмиссионными характеристиками. Делается вывод о том, что гибридные автоэмиссионные фотокатоды, выполненные в виде матрицы пироэлектрических элементов, электрически связанных с системой автоэлектронных эмиттеров на основе наноструктурированных углеродных трубок, могут стать основой приборов ночного видения, обладающих высокой чувствительностью во всем ИК-диапазоне и создать серьезную конкуренцию традиционным тепловизионным системам.
Исследуются статистические характеристики электромагнитного поля, рассеянного контролируемыми шероховатыми (на стадиях шлифования) оптическими поверхностями, имеющими различный уровень среднего квадратичного отклонения (СКО) – от заданного (эталонного) профиля на различных стадиях технологической обработки. Получены и проанализированы аналитические выражения для контраста регистрируемых интерферограмм и спекл-структуры от характерного отношения контролируемой величины в соотношении с длиной волны интерферометрического контроля – . Предлагается метод частичного подавления спекл-структуры в регистрируемых изображениях, основанный на использовании пространственной фильтрации и операции усреднения по ансамблю сечений, проходящих через энергетический центр тяжести отфильтрованных изображений. Приводятся результаты экспериментальных исследований макетного образца лазерного инфракрасного (ИК) интерферометра, построенного по модифицированной функциональной схеме Тваймана–Грина, с рабочей длиной волны излучения = 10,6 мкм и формулируются рекомендации по выбору его элементной базы.
Представлен аналитический метод расчета параметров инфракрасного (ИК) фотоприемного устройства с заданной топологией матрицы фоточувствительных элементов (МФЧЭ), осуществляющего регистрацию малоразмерных объектов в режиме линейного сканирования. Метод позволяет оценить отношение сигнал/шум и пространственное разрешение ИК фотоприемного устройства (ФПУ) с режимом временной задержки и накопления (ВЗН) с учетом функции рассеяния точки оптической системы, пространственного распределения чувствительности фоточувствительных элементов (ФЧЭ), параметров дискретизации, ВЗН-суммирования и накопления, значений дробового шума и шума считывания, согласованного суммирования выходных сигналов ИК ФПУ. Проведена оценка пространственного разрешения ИК ФПУ в направлении сканирования, а также в направлении, ортогональном сканированию по двум малоразмерным объектам и по гармоническим мирам в зависимости от параметров топологии МФЧЭ. Найдены оптимальные размеры ФЧЭ (обеспечивающие максимальное отношение сигнал/шум, пространственное разрешение системы при этом не учитывалось) при регистрации пятна излучения в плоскости МФЧЭ, расположенного в максимуме/минимуме пеленгационной характеристики, с учетом/без учета шума считывания, с учетом/без учета дополнительной пространственной обработки выходных сигналов.
Проведено сравнение электрофизических и фотоэлектрических параметров малоразмерных многоплощадочных планарных фотодиодов из антимонида индия с кристаллами, изготовленными в рамках единой партии по четырём вариантам технологии: базовой с применением имплантации ионов бериллия и трём другим на основе базовой технологии, отличающимся уменьшенными значениями энергии, дозы имплантации и методом постимплантационного отжига. Показана перспективность применения фотонного отжига в сочетании с измененными режимами имплантации в базовой технологии. Это позволяет уменьшить число технологических операций и исключить применение токсичного моносилана и взрывоопасного водорода при выигрыше характеристик фотодиодов по интегральной токовой чувствительности на ~ 8 % и удельной обнаружительной способности на ~ 4 %.
Рассмотрена двойная гетероструктура на основе прямозонных полупроводников со средним слоем фотопоглощения при напряжении лавинного пробоя. Такие структуры используются при создании лавинных фотодиодов с разделенными областями поглощения и умножения (ЛФД с РОПУ). Показано, что при расчете предельно возможных характеристик ЛФД с РОПУ даже в слое поглощения необходимо учитывать ударную генерацию электронно-дырочных в пар, причем это можно выполнить аналитически.
Обзор посвящен анализу преимуществ и недостатков существующих реактивных методов осаждения пленок оксида титана. Особое внимание уделено традиционным методам – магнетронному распылению в атмосфере активных газов и вакуумно-дуговому осаждению, а также обсуждаются возможности реактивного электронно-лучевого испарения, в том числе альтернативного электронно-лучевого испарения титана в форвакууме (1–15 Па) в атмосфере кислорода с последующим осаждением паров на подложку. Показано, что к преимуществам электронно-лучевого испарения в форвакууме следует отнести простоту реализации и возможность получения стехиометрических пленок TiO2, причем при более высокой скорости осаждения и меньшем энергопотреблении.
Статистика статьи
Статистика просмотров за 2026 год.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400